T/ZZB 3539-2023 单晶硅棒磨倒一体机

ICS25.080.50

CCSJ55

团体标准

T/ZZB3539—2023

单晶硅棒磨倒一体机

Mono-silicongrindingandchamferingintegratedmachine

2023-12-01发布2023-12-10实施

浙江省质量协会发布

T/ZZB3539—2023

目次

前言..............................................................................II

1范围................................................................................1

2规范性引用文件......................................................................1

3术语和定义..........................................................................1

4基本参数............................................................................1

5型号................................................................................2

6基本要求............................................................................2

7技术要求............................................................................3

8试验方法............................................................................4

9检验规则............................................................................7

10标志、包装、运输和贮存.............................................................8

11质量承诺...........................................................................8

附录A（规范性）精度项目要求及检验方法................................................10

I

T/ZZB3539—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省质量协会归口。

本文件主要起草单位：天通日进精密技术有限公司。

本文件参与起草单位：嘉兴学院、嘉兴嘉麟智能科技有限公司。

本文件主要起草人：苏静洪、裴忠、张钦亮、朱勤超、吴张琪、陶施家、戴建良、韩鸣明、张佳斌、

王涛、朱一豪、何振卫、周振峰、王锐。

本文件评审专家组长：陈锋。

II

T/ZZB3539—2023

单晶硅棒磨倒一体机

1范围

本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检

验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。

本文件适用于加工边距尺寸为156mm～240mm的单晶硅棒的磨倒一体机（以下简称“磨倒一体机”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T307.1—2017滚动轴承向心轴承产品几何技术规范（GPS）和公差值

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T3177产品几何技术规范(GPS)光滑工件尺寸的检验

GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气磨倒一体机第1部分：通用技术条件

GB/T7344交流伺服电动机通用技术条件

GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T10610产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T14264半导体材料术语

GB15760—2004金属切削机床安全防护通用技术条件

GB/T17421.1—1998机床检验通则第1部分:在无负荷或精加工条件下机床的几何精度

GB/T17587.3—2017滚珠丝杠副第3部分：验收条件和验收检验

JB/T7665—2007通用机械噪声声功率级现场测定声强法

JB/T9905.2—2014无心外圆磨床第2部分：技术条件

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

单晶硅棒磨倒一体机mono-silicongrindingandchamferingintegratedmachine

集磨面和棱边倒角功能于一体的单晶硅棒加工设备。

4基本参数

磨倒一体机的基本参数应符合表1的规定。

1

T/ZZB3539—2023

表1基本参数

项目名称参数

磨头粗磨砂轮/个2

磨头精磨砂轮/个2

磨头

磨削主轴最高转速/（r/min）≥3000

驱动方式每个砂轮可独立控制

油石数量/个2

加工边距尺寸/mm156～240

5型号

磨倒一体机型号编制规则如下：

XXMDXXX

版本号采用大写英文字母表示，分为A、B、C

磨削高度，采用阿拉伯数字表示，单位为毫米(mm)

产品代号，MD表示磨倒一体机

生产厂代号

示例：XXMD1000A表示为XXX公司生产的磨削高度为1000mm的A版磨倒一体机。

6基本要求

6.1设计研发

6.1.1应采用计算机辅助软件进行产品结构设计,采用三维模拟装配方法进行产品验证。

6.1.2应采用仿真软件对磨头、立柱、压紧头等主体结构的强度、刚性特性进行分析、校核。

6.1.3应具备满足客户个性化定制需求的模块化、智能化设计研发能力。

6.2原材料与零部件

6.2.1主轴用角接触球轴承精度等级应不低于GB/T307.1—2017中5级的要求。

6.2.2滚珠丝杠精度应不低于GB/T17587.3—2017中7级的要求。

6.2.3伺服电机应符合GB/T7344的规定。

6.3工艺与装备

6.3.1磨倒一体机各部件应采用专用工装、夹具进行组装。

2

T/ZZB3539—2023

6.3.2压紧立柱、立柱部件应采用精度不低于0.01mm的数控机床或加工中心进行加工。

6.4检验检测

6.4.1应具备几何精度、加工精度、安全防护及功能要求等项目检测能力。

6.4.2应配备三坐标测量仪、硬度测试仪、振动测试仪、声级计等检测设备。

7技术要求

7.1外观

7.1.1外表面不应有凸起、凹陷、粗糙不平、磕碰、划伤和锈蚀。

7.1.2非机械加工的金属外表面应具有涂层防护。

7.1.3电气、气动、润滑和冷却等管道的外露部分应布置紧凑，排列整齐，必要时应用管夹固定。管

子不应产生扭曲、折叠与撕裂现象。

7.1.4外露的焊缝应平直、均匀，不应有裂纹、杂渣、焊瘤、烧穿等外观缺陷。

7.1.5涂层应光滑、平整，颜色、表面光泽应均匀一致，不应有明显的刷痕、桔皮、起皱等缺陷。

7.1.6各种标牌应清晰、耐久，并应固定在明显位置，牢固、平整、不歪斜。

7.2功能要求

7.2.1控制系统应具有程序参数设置、手动和自动操作的功能，显示装置应能正确显示工作参数。

7.2.2控制系统应具有故障报警显示功能。

7.2.3应具有自动上下料、自动对接、自动工序转移等功能。

7.2.4装夹应准确、可靠，并有到位自锁功能。

7.2.5运动部件在中等进给速度时，正、负向启动、停止的控制应灵活、可靠、准确。

7.2.6各类控制按钮触控灵敏可靠，各项功能应正确、可靠，不应出现误动作，指示灯应能正确响应。

7.2.7气动装置密封性和润滑性能良好，控制动作灵活、准确，且无渗（泄）漏现象。

7.2.8安全、保险、防护装置以及电气系统的控制、联锁、保护功能应可靠，动作应灵活、准确。

7.2.9在操作界面中应具有自动磨削模式设置功能，能设置或修改砂轮转速、磨削量、进给速度、进

给行程等参数。

7.3整机性能

7.3.1空载性能

7.3.1.1轴承温升不应超过35K。