SJ/T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法
SJ/T 11634-2016 Determination of Methanol in Developer Solution for Electronic Industry by Headspace Gas Chromatography
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11634-2016
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2016-04-05
实施日期
2016-09-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2016年04月
研制信息
- 起草单位：
- 杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
- 起草人：
- 陈玉英、尹云舰、黄德新 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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