JJF 1831-2020 球径仪校准规范
JJF 1831-2020 Calibration Specification for Spherometers
基本信息
发布历史
-
2020年01月
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研制信息
- 起草单位:
- 湖北省计量测试技术研究院、云南北方光电仪器有限公司、云南省计量测试技术研究院、中国计量科学研究院
- 起草人:
- 周强、李莉、王涛、陈明、李致新、位恒政
- 出版信息:
- 页数:24页 | 字数:26 千字 | 开本: 大16开
内容描述
屮华人民共和国国家计量技术规范
JJF1831—2020
球径仪校准规范
CalibrationSpecificationforSpherometers
2020-01-17发布2020-04-17实施
国家市场监督管理总局发布
JJF1831—2020
球径仪校准规范
JJF1831-2020
CalibrationSpecification
代替JJG401-1985
forSpherometers
归口单位:全国几何量长度计量技术委员会
起草单位:湖北省计量测试技术研究院
云南北方光电仪器有限公司
云南省计量测试技术研究院
中国计量科学研究院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJF1831—2020
本规范起草人:
周强(湖北省瞬i试技术研究院)
李莉(云南北方光电仪器有限公司)
王涛(湖北省瞬i试技术研究院)
陈明(云南省计量测试技术研究院)
李致新(云南北方光电仪器有限公司)
位恒政(中国计量科学研究院)
JJF1831—2020
目
引言VI
1范围1
2引用文件1
3概述1
4计量特性1
5校准条件2
5.1环境条件2
5.2测量标准及配套设备2
6校准项目和校准方法3
6.1校准项目的说明3
6.2测量环半径3
6.3球面曲率半径测量的相对误差4
6.4矢高测量机构的示值误差5
7校准结果表达5
8复校时间间隔5
附录A球径仪测量环半径测得值兀的不确定度评定实例6
附录B球面曲率半径的相对误差的不确定度评定实例10
附录C原始记录内容及格式14
附录D校准证书内容及内页格式15
附录EJJFXXXX-XXXX与JJG401-85的条款对照16
V
JJF1831—2020
引言
本规范是对JJG401—1985《球径仪检定规程》的修订。与JJG401—
1985《球径仪检定规程》相比,除编辑性修改外,主要修订内容有:
——增加了“球径仪测量环半径校准结果的测量不确定度评定实例”、“球
径仪测量球面曲率半径时的相对误差的不确定度评定实例”、“JJFXXXX-
XXXX与JJG401-1985的条款对照”等附录。
——规定了3个计量特性:矢高测量机构的示值误差、测量环半径、
球面曲率半径测量的相对误差。
其余变化详见附录E。
JJG401—1985为首次制定。
VI
JJF1831—2020
球径仪校准规范
1范围
本规范适用于接触式球径仪的校准。
2引用文件
本规范引用了以下文件:
GB/T308-2002滚动轴承钢球
JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,
其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
3概述
接触式球径仪(以下简称球径仪)是一种用于测量球面曲率半径的计量仪器。球径仪
主要由测量环和矢高测量机构组成,通过测量球面的矢高而间接测量出球面的曲率半径。
主要用于测量球面光学对板、光学样板、球面透镜、球面反射镜等的球面曲率半径。
球径仪的测量原理如图1、图2所示。图1、图2中的弦半径尸也就是球径仪计量特
性中的测量环半径。
風一被测球面的曲率半径;L弦半径;被测球面的曲率半径;L弦半径
—矢高测量机构的测得值;。一钢球半径1矢高测量机构的测得值
图1.使用钢球型测量环测量矢高的原理图图2.使用刃型测量环测量矢高的原理图
4计量特性
4.1测量环半径;
4.2球面曲率半径测量的相对误差;
4.3矢高测量机构的示值误差。
1
JJF1831—2020
5校准条件
5.1环境条件
温度20(土2)°C,室温变化不大于0.5°C/h,被校仪器与测量标准在室内平衡温度的
时间不少于6力,相对湿度不大于75%o
5.2测量标准及配套设备
5.2.1标准凸(凹)球面样板
标准凸(凹)球面样板技术指标见表1。
表1标准球面样板的半径范围及型式要求
标准球面样板标称要求
半径R/mm凸样板的圆度半径光圈数”(2)光圈局部误差(”2)
5〜85W0.3|im
W0.5W0.1
86〜130W2gm
注:表1中,凸样板标称半径(5-130)irnn范围内应按全球或超半球型式制造。样板均应凸凹成
对制造与校准;半径光圈数、光圈局部误差分别为为凸凹样板相合时所产生的干涉圈数(或干涉条纹数)
及其不规则程度。
5.2.2平面平晶
用于校准4.1、4.2、4.3项目。平面平晶与标准球面样板的质量差不应超过100g。
5.2.3三等量块
用于校准矢高测量机构的示值误差。该组量块包含以下标称长度(单位:mm):2,
5,10,20,30o
5.2.4专用环
校准球径仪的矢高测量机构的示值误差时,专用环是安放平晶的辅助工具,其工作
面与定位面的平行度不超过5pm,高度为30mm(负公差),见图3。
图3专用环结构示意图
2
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6校准项目和校准方法
6.1校准项目的说明
一般情况下,仅校准测量环半径、球面曲率半径测量的相对误差。
当发现球面曲率半径测量的相对误差超过仪器相关技术要求时,应校准矢高测量机
构的示值误差。
6.2测量环半径
用标准凸(凹)球面样板校准测量环半径。
6.2.1根据测量环半径的标称值,建议参照表2选择适当尺寸的标准凸(凹)球面样板作
为测量标准。对于刃型测量环的内径和钢球型测量环,用标准凸球面样板校准测量环半径
的测得值沧对于刃型测量环的外径,用标准凹球面样板校准测量环半径的测得值/*c。
表2测量环半径与标准球面样板半径的匹配要求(校准测量环半径时)
测量环标称半径尸/mm标准球面样板半径Rq/mm
3〜45〜6
5〜66.5〜8
7〜89〜13
9〜1211〜14
13〜1717-22
18-2726〜31
28〜3844〜47
39〜5062〜75
60〜65125〜130
6.2.2将测量环装在球径仪上,把平面平晶工作面朝下放在测量环上,使测头接触平晶,
然后从读数装置中读得数值ao/o
6.2.3取下平面平晶,换上标准球面样板,使测头接触球面后,读得数值砌
6.2.4转动测量环和标准球面样板,重复6.2.2、6.2.3的步骤3次,分别对血、血计算3
次读数的算术平均值N=(01+02+03)/3与零位值不0=(aoi+«O2+ao3)/3,二者之差即为标准
球面样板矢高的测得值h=\a-a\0
0
6.2.5测量环半径的测量结果%(mm)用公式(1)计算:
%=丁2力(凡土/?)—护(1)
式中:力一球径仪对标准球面样板的矢高测得值,mm;
心―为标准球面样板的半径参考值,mm;
卩一钢球半径的标定值,mm,测量凸面取“+”号,测量凹面取号,对于刃型
环取严0。
3
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对于未经修理的测量环,卩取仪器的证书上所标明的数值;测量环若需修理,新钢球
装入测量环之前,应重新标定卩值(测量时的扩展不确定度不大于0.5pm,k=2),且同
一测量环上三钢球的直径差不应超过0.5pm,即至少应满足GB/T308-2002《滚动轴承
钢球》对G10级钢球的球批直径变动量的要求。
6.3球面曲率半径测量的相对误差
6.3.1校准球径仪的球面曲率半径测量的相对误差时,对刃型测量环内径、外径,分别用
标准凸球面样板、标准凹球面样板作为测量标准;对钢球型测量环,用凸凹成对的标准球
面样板组作为测量标准。
6.3.2根据测量环半径的标称值,建议按表3选择适当尺寸的标准凸(凹)球面样板作为
测量标准。
表3测量环半径与标准球面样板半径的匹配要求(校准球面曲率半径测量的相对误差时)
测量环标称半径r/mm标准球面样板半径Rs/mm
377〜10
5〜69〜13
7〜814〜17
9〜1218〜21
13〜1727〜38
18-2743〜65
28〜3868〜85
39〜50110~130
按6.2.2~6.2.3中的步骤,用球径仪测出所选用的标准球面样板的矢高测得值
h=\a-a\;重复测量3次,获得3次矢高测得值岛=|勺-%|,用公式2)(计算得每一次
0
对球面样板半径的测得值:
(2)
式中:Rq——球面曲率半径测得值,mm,其中下标/为测量序号;
r——测量环半径的测得值,mm,引用6.2.5的测量结果;
c
為一标准球面样板矢高的测得值,mm;
卩一钢球半径的标定值,mm,测量凸面取号,测量凹面取“+”号,对于刃型
环取卩=0。
取球面样板半径的测得值与参考值R偏离的绝对值最大时的差值为球面曲率半径测
s
量的误差6,即公式(3)
^=Max{|7?.}(3)
q/
6.3.3用球径仪测量球面曲率半径时,球面曲率半径测量的相对误差按公式4)(计算:
4
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xlOO%(4)
式中:d——球面曲率半径测量的相对误差;
t
R——球径仪对标准球面样板的球面曲率半径的测得值,mm;
c
Rs——标准球面样板的球面曲率半径的参考值,可由其溯源证书上获得,mmo
用凹凸成对的标准球面样板校准时,应分别测出凹、凸球面的矢高,并按公式(2)
〜公式(4)分别计算球面曲率半径测量的相对误差。
6.4矢高测量机构的示值误差
6.4.1取下测量环,将专用环安装在仪器上,放上平面平晶,移动测量轴使测头与平晶工
作面相接触。通过矢高测量机构读数,重复测量3次取其平均值作为起始点的的测得值。
然后,依次将标称长度为(nmi)为2,5,10,20,30的量块分别与平晶研合后放到仪器
上,适当恒温后,依次通过矢高测量机构读数,重复测量3次取其平均值作为各点的测得
值a*
6.4.2矢高测量机构各校准点上的示值误差加按下式计算:
3hi=(arao)~Li(5)
式中:血、ao——分别为校准点与起始点的测得值,mm;
Li——校准点所用量块的参考值,mm,该值来源于其溯源证书。
7校准结果表达
校准证书应符合JJF1071-2010中5.12的要求。
校准证书中应包含校准项目的测量结果及其测量不确定度。
校准证书应包含的信息、格式参见附录C。
8复校时间间隔
送校单位可根据仪器的使用情况、仪器本身质量等诸因素,自主决定复校时间间隔。
5
JJF1831—2020
枫A
球径仪测量环半径测得值%的不确定度评定实例
A.1概述
被校对象:JQJ1型球径仪【目视光机型,矢高的测量范围±15mm,分度值0.001mm;
曲率半径的测量范围(5-1000)mm]的1#、2#钢球环与8#刃型环(内环、外环)。
环境条件:温度2(0±2)°C,室温变化每小时不超过0.5°C,被检仪器与测量标准在
室内平衡温度的时间不少于6%,相对湿度不大于75%-
测量标准:名义值分别为127nun、70mm、6.5mm的标准超半球对样板。
测量方法:本规范6.2节。
A.2测量模型与灵敏系数
2m
以6.2节公式(1)为测量模型,令t=2h(Ro+p)~h,则r=t°
c
对(1)式全微分,可得:
欧二茄必+范呎+笳力
测量模型公式(1)的灵敏系数
=-r1/2.[2(^±p)-2A]
&土P—h
^2h(R+p)-h2
0
&土Ph
(A.1
pt测量凸面取“+”号,测量凹面取号,对于刃型环取
込严・2(〃)
yl2h(R±p)-h
0
(A.2
JJF1831—2020
C3:
_±h
』2h(Ro土p)-斥
C3=±—(A.3)
rc
C3:对于钢球环,测量凸面取“+”号,测量凹面取“一”号;对于刃型环,取C3=0。
A.3输入量的标准不确定度评定
A.3.1输入量h的标准不确定u(耐的评定
输入量h的标准不确定u(%)的来源包括:
1)球径仪测量h时的测量重复性引入的不确定度分量“(加);
2)矢高测量机构的示值误差引入的标准不确定度“(方2)。
至于平晶面形、温度相对于20匸的偏离、球径仪与检校工具的温差引入的不确定
分量,远小于前述2项,因此可以忽略不计。
A.3.1.1球径仪测量h时的测量重复性引入的不确定度分量“(加)的评定
任选一台JQJ1型球径仪,以2#环为例,对参考值为7?o=7O.O299mm的超半球在重复
性条件下作n=10次测量(每一次都用平晶重新对零位)得测量列at(mm):27.6152,
27.6151,27.6153,27.6150,27.6150,27.6150,27.6151,27.6153,27.6152,27.6150。
按公式(A.4)计算偽•的平均值
_110
(A.4)
=27.6152(mm)
按公式(A.5)计算⑷的单次测量的实验标准差
(A.5)
=0.00012(mm)
校准测量环半径时,对a通常测量3次取其平均值,重复性引入的不确定度分量“(a)
w(a)=5/5/3
=0.0001229/73=0.00007(mm)=0.07gm
对h=\a-a\,同理有M(a)=M(a)=0.07|j,m,则按公式(A.6)计算测量重复性引入的不确
0o
定度分量u(hi)
22
u(hi)=yju(a)+u(a)(A.6)
0
7
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=V2X0.07=0.099(gm)
A.3.1.2矢高测量机构的示值误差引入的标准不确定度u(h2)
对于所校目视光机型球径仪,矢高测量机构的示值误差±0.6pm以内,设为均匀
分布,半宽度为0.6,则其标准不确定度为
u(h2)=—=0.6/a/3=0.346(gm)
k
A.3.1.3输入量h的标准不确定度“(〃)的评定
由于球径仪测量h时的测量重复性引入的不确定度分量“(加)与矢高测量机构的示值
误差引入的标准不确定度“(/Z2)之间互为不相关,故:
U(k)=/^(砧+护仇)
22
=a/0.099+0.346
=0.360(gm)
A.3.2输入量7?o的标准不确定度“(Ro)的评定
由超半球检定证书知:C7(7?o)=O.21gm,^=2贝!|
u(Ro)=U(Ro)/kF=OA05(gm)
A.3.3输入量卩的标准不确定度“(p)的评定
由于对钢球的半径卩值的标定要求“测量时的扩展不确定度不大于0.5pm,k=2,同
一测量环上的三颗钢球直径之差不超过0.5,故在此可以认为卩值的不确定度的半
宽度a=0.25mm,设该值为三角分布,则有
=0.102(pm)
A.4合成标准不确定度的评定
合成标准不确定度的计算(使用刃型环时不考虑“(p)的影响)
厂-12r-|2I--12
"2(,c)=聲•"(")+•"依o)+警•"(/*)
d
\-Sh」L眺」LP」
r22
=»(c)={ki"(硼+[c»(r)]+[cw(p)]}1/2(A.7)
23
由工作数据按公式(A.1)、公式(A.2)、公式(A.3)可以计算得各测量环对应的
灵敏系数Cl、C2、C3之值,见表A.1。
表A.1球径仪测量环的半径校准结果的不确定度灵敏系数计算表
环号rc/mmA/mmp/mmRo/mmClC2C3
8内5.02092.384106.48050.81586970.4748350
8外5.50153.057406.48050.62221210.5557390
242.501713.19854.999470.03170.11762821.64力391.64力39
160.008314.38094.9996127.39161.96656630.2396490.239649
A.5扩展不确定度的评定
扩展不确定度为:
8
JJF1831—2020
U=ku,(A.8)
c>
以校准2#环为例,经分析评估,其测量不确定度分量及计算结果如表A.2。
同理,使用表A.1的灵敏系数计算结果,按照表A.2中的不确定度来源,代入公式
(A.7)和公式(A.8)可以计算出球径仪其它各测量环半径测得值的测量不确定度,如表
A.3o
表A.2球径仪2#测量环半径测得值的不确定度概算表
标准不标准不确定度q”3)
不确定度来源/评定类型Ci
确定度/mm/分布类型/mm
u(h)球径仪矢高测量的不准确0.360X10-30.11762820.0000424
3
测量%时的测量重复性/A类0.100X10'
/正态分布
矢高测量机构的示值误差/B类3
0.346X10
/均匀分布
u(Ro)标准超半球半径定值不准确/B类0.105X10-31.64773880.000173
/正态分布
u(p)钢球半径差及半径定值不准/B类0.102X10'31.64773880.000168
/三角分布
合成标雀[不确定度«c/mm0.00024
扩展不确定度U/mm(匕2)0.0005
表A.3球径仪各测量环半径测得值的测量不确定度汇总
环号测量环半径”的名义值/mmi/c/mmU(k=2)/mm
1600.000690.0014
242.50.000240.0005
8外5.50.000230.0005
8内50.000290.0006
9
JJF1831—2020
附录B
球面曲率半径的相对误差的不确定度评定实例
B.1概述
被校对象:JQJ1型球径仪【目视光机型,矢高的测量范围土15mm,分度值0.001mm;
曲率半径的测量范围(5-1000)mm]的2#钢球环与8#刃型环(内环、外环)。
环境条件:温度(20±2)°C,室温变化每小时不超过0.5°C,被检仪器与测量标准在
室内平衡温度的时间不少于6乩相对湿度不大于75%o
测量标准:名义值分别为127mm、9mm的标准超半球对样板。
测量方法:见本规范6.3节。
B.2测量模型与灵敏系数
以6.3节公式(4)为测量模型,将6.3节公式(2)代入公式(4)可得
r2,>
8=^+-+p/R-1
t⑶2s
即测量模型转化为
+止干2-1(B.l)
2hRs2R,Rs
式中:拆一球面曲率半径测量的相对误差;
球径仪对标准球面样板半径的测量值(mm);
凡一标准球面样板半径的参考值(mm);
农一测量环半径的测量值(mm);
力一标准球面样板在球径仪上测量得到的矢高(mm);
p—钢球半径的标定值(mm),测量凸面取号,测量凹面取“+”号,对于刃
型环取尸0。
以公式(B.1)为测量模型的灵敏系数
(B.2)
(B.3)
(B.4)
其中C3—对于钢球环,测量凸面取“一”号,测量凹面取“+”号;对于刃型环取c尸0。
10
JJF1831—2020
其中/)—钢球半径的标定值(mm),测量凸面取“+”号,测量凹面取“一”号,对于
刃型环取/)=0
B.3输入量的标准不确定度评定
B.3.1输入量h的标准不确定度u(力)的评定
输入量h的标准不确定度“(耐的来源包括:1)球径仪测量h时的测量重复性引入的
不确定度分量”(加);2)矢高测量机构的示值误差引入的标准不确定度“(方2)。至于平晶面
形、温度相对于20°C的偏离引入的不确定度分量,远小于前述2项,因此可以忽略不计。
B.3.1.1球径仪测量力时的测量重复性引入的不确定度分量“血)的评定
22
由于hf=-a\,则u(hi)=/u(a.)+w(a.)=41u(a)
OiAJ0t
这里对a测量1次,重复性引入的不确定度分量“(a)=s=0.123gm,该数据来源于附
录A第A.3.1.1条(3)式的计算结果
B.3.1.2矢高测量机构的示值误差引入的标准不确定度“血)
对于所校目视光机型球径仪,矢高测量机构的示值误差在±0.6以内,设为均匀
分布,半宽度为0.6,则其标准不确定度为
u(hi)=—=0.6/>/3=0.346(gm)
k
B.3.1.3输入量h的标准不确定度“(/?)的评定
由于球径仪测量h时的测量重复性引入的不确定度分量“(加)与矢高测量机构的示值
误差引入的标准不确定度“(力2)之间互为不相关,故:
22
u(h)=^/w(7z)+i/(7z)
12
=a/0.1232+0.3462
=0.367(gm)
B.3.2输入量r的标准不确定度"(々)的评定
c
可引用附录A表A.3对球径仪测量环半径测得值的测量不确定度评估结果,见表
B.Io
表B.1ER径仪测量环半径测得彳直的测量不确定度
环号半径尸的名义值/mmw(r)/mm
c
242.50.000245
8外5.50.000226
8内50.000291
B.3.3输入量卩的标准不确定度的评定
11
JJF1831—2020
因对钢球的半径卩值的标定要求“测量时的扩展不确定度不大于0.5gm,k=2,同一
测量环上的三颗钢球直径之差不超过0.5jim",故在此可以认为°值的不确定度的半宽
度a=0.25pm,设该值为三角分布,则有
u(p)=—=^^-=0A02(gm)
kJ6
B.3.4输入量凡的标准不确定度“(As)的评定
由超半球检定证书知:t/(l?s)=0.21jim,k=2o贝!I
u(2s)=^(2s)/A=0.105pm
B.4合成标准不确定度的评定
合成标准不确定度的计算(使用刃型环时不考虑“(Q)的影响)
222
叫="G)={+[c«(r)]+[cu(p)]+[c«(/)]}1/2(B.6)
234s
按公式(B.2)、公式(B.3)、公式(B.4)、公式(B.5),由工作数据可以计算得
各测量环对应的灵敏系数Cl、C2、C3、G之值,见表B.2。
表B.2球径仪测量球面曲率半径的相对误差的不确定度灵敏系数计算表
环号厂c/mmh/mmp/mmR/mmClC2C3C4
s
8内5.02091.528109.0015-0.544130.365020-0.11123
8外5.50151.876509.0015-0.421900.325700-0.11111
242.50177.00774.9994127.3916-0.140450.047610.00785-0.00785
B.5扩展不确定度的评定
球径仪测量球面曲率半径时的相对误差的扩展不确定度为:
U=ku(B.7)
c
以校准2#环为例,各输入量的不确定度及其灵敏系数代入公式(B.6)和公式(B.7)
可算出球径仪测量球面曲率半径时的相对误差的测量不确定度,如表B.3o
同理,对球径仪其它各测量环,使用表B.2的灵敏系数计算结果,按照表B.3
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