T/DZJN 522-2026 半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范
T/DZJN 522-2026 Technical specification for precision machining of quartz components for semiconductor equipment
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/DZJN 522-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-03-19
实施日期
2026-03-19
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子节能技术协会
适用范围
-
发布历史
-
2026年03月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京亚泽中保集成技术服务有限公司、杭州泓芯微半导体有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、锦州市士成新材料有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司、浙江中科光铭光电股份有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司、江苏弘扬石英制品有限公司
- 起草人：
- 李亚杰、陈洋洋、孔凡昌、王海亮、丁鼎、华永校、顿爱欢、徐煜清
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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