T/DZJN 522-2026 半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范
T/DZJN 522-2026 Technical specification for precision machining of quartz components for semiconductor equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DZJN 522-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-03-19
实施日期
2026-03-19
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子节能技术协会
适用范围
-
发布历史
-
2026年03月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 北京亚泽中保集成技术服务有限公司、杭州泓芯微半导体有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、锦州市士成新材料有限公司、杭州睿昇半导体科技有限公司、浙江中科光铭光电股份有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司、江苏弘扬石英制品有限公司
- 起草人：
- 李亚杰、陈洋洋、孔凡昌、王海亮、丁鼎、华永校、顿爱欢、徐煜清
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/LCAA 34-2026 生物质固体成型燃料碳减排量评价技术规范 2026-03-31
- T/CASME 2160-2026 智能跑步机人工智能（AI）训练系统技术要求 2026-03-20
- T/HPLIA 1302-2026 温室气体 产品碳足迹 量化方法与要求 PVC结构泡沫材料 2026-03-26
- T/FJAS 031-2026 数据资产——数据合规审核规范 2026-03-30
- T/CSTM 00835-2026 无机非金属制品建设项目二氧化碳 排放环境影响评价技术规范 2026-03-26
- T/LCAA 35-2026 农业碳减排碳中和标准体系 2026-03-31
- T/FJAS 033-2026 数据资产——数据资产入表实施指南 2026-03-30
- T/XJBX 0206-2026 药物警戒数据质量管理与控制规范 2026-03-18
- T/QAQ 021-2026 综合保税区智慧卡口建设管理服务规范 2026-03-30
- T/JXEA 092-2025 区域水资源承载能力评估技术规范 2026-03-30