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T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求

T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC Gas Sensor Technical Requirements

团体标准 中文(简体) 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/AHEMA 23-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Z00/09 环境保护综合
国际标准分类号（ICS）
13.040.01 空气质量综合
发布日期
2022-06-01
实施日期
2022-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
安徽省环境检测行业协会
适用范围
范围:本文件规定了MEMS VOC 气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。 本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件; 主要技术内容:4 技术要求环境要求4.1.1 湿度要求对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。4.1.2 温度要求对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。4.1.3 大气压要求对试验样品进行不同大气压下试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。外观要求a) 传感器芯片外形、各部分尺寸及加工质量符合图样规定。b) 封装器件符合图样规定，安装牢固。c) 封装器件不得有龟裂、损伤、断裂等现象。d) 传感器通电检查时，显示电压和电流示数应维持恒定范围内数值。性能要求4.3.1 稳定性对MEMS VOC 气体传感器进行多次测量，并与标准值进行比较，同个传感器的相对标准偏差应不大于±5%，同批不同传感器的相对标准偏差应不大于±10%。4.3.2 响应时间（T90）MEMS VOC气体传感器的响应时间不大于30s。4.3.3 恢复时间（T10）MEMS VOC气体传感器的恢复时间不大于60s。4.3.4 响应误差对于VOC气体传感器芯片，传感器的响应误差不大于浓度标准点的±10%。4.3.5 灵敏度要求MEMS VOC传感器在乙醇气体中的敏感体电阻与在洁净空气中电阻的比值≥10。4.3.6 抗干扰性对试验样品进行干扰气体试验，试验过程中，试样不受干扰气体的影响，正常工作，且满足4.2之要求。4.3.7 抗跌落性能将处于包装状态下的气体传感器芯片做跌落试验，试验后，产品完好，且满足4.2之要求。敏感体电阻利用公式换算得出敏感体电阻值，其值在[50KΩ～300KΩ]的范围，公式见5.4

发布历史

文前页预览

T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求-第1页
T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求-第2页

研制信息

起草单位：
安徽维纳物联科技有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽元琛环保科 技股份有限公司、安徽康菲尔检测科技有限公司、合肥先进产业研究院
起草人：
徐辉、梁燕、蒯贇、赵羽、张洪文、赵倩、蔡伟平、陈志、沈光宇、王凯、王 勇、武春美、王伟、黄家奇、刘伟
出版信息：
页数：8页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS13.040.01

CCSZ00

团体标准

T/AHEMA23—2022

MEMSVOC气体传感器技术要求

TechnicalRequirementsofMEMSVOCGasSensor

2022-06-01发布2022-06-01实施

安徽省环境检测行业协会  发布

T/AHEMA23—2022

目次

前言.................................................................................III

1范围................................................................................1

2规范性引用文件......................................................................1

3术语和定义..........................................................................1

4技术要求............................................................................1

5试验方法............................................................................2

6检验规则............................................................................4

7包装、标识和储运....................................................................4

I

T/AHEMA23—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由安徽维纳物联科技有限公司提出。

本文件由安徽省环境检测行业协会归口。

本文件起草单位：安徽维纳物联科技有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽元琛环保科

技股份有限公司、安徽康菲尔检测科技有限公司、合肥先进产业研究院。

本文件主要起草人：徐辉、梁燕、蒯贇、赵羽、张洪文、赵倩、蔡伟平、陈志、沈光宇、王凯、王

勇、武春美、王伟、黄家奇、刘伟。

III

T/AHEMA23—2022

MEMSVOC气体传感器技术要求

1范围

本文件规定了MEMSVOC气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。

本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB3836.1爆炸性环境第1部分：设备通用要求

GB3836.2爆炸性环境

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