T/CMES 24020-2024 超洁净气动波纹管泵

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标准号

T/CMES 24020-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

23.020.01 流体存储装置综合

发布日期

2024-12-30

实施日期

2025-01-30

发布单位/组织

归口单位

中国机械工程学会

适用范围

主要技术内容:本文件规定了超洁净气动波纹管泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等

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起草单位：: 浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会

起草人：: 傅新、胡亮、苏芮、杨军、张翼飞、薛飞、袁仕芳、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗涛、李东升、傅文凯、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、李春华、付华

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