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T/ZHIA 3-2024 晶圆测试企业MES成熟度评价指标

T/ZHIA 3-2024

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZHIA 3-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
A 综合
国际标准分类号（ICS）
37.100.01 印制技术综合
发布日期
2024-12-20
实施日期
2025-01-01
发布单位/组织
-
归口单位
珠海市信息协会
适用范围
范围:本文件规定了晶圆测试企业MES成熟度评价指标的构成原则、评价指标、评价方法，以及评价分值。 本文件适用于晶圆测试企业制造执行系统的开发与成熟程度评价; 主要技术内容:本文件规定了晶圆测试企业MES成熟度评价指标的构成原则、评价指标、评价方法，以及评价分值。本文件适用于晶圆测试企业制造执行系统的开发与成熟程度评价

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研制信息

起草单位：
珠海市中芯集成电路有限公司、珠海芯业测控有限公司、珠海泰芯半导体有限公司、珠海鼎和质量发展有限公司
起草人：
吴俊、王东玉、袁志伟、周小凤、向宏阳、潘志华、翁春立、刘元才、唐振中、龚诗雅、廖实玲、刘韵、乔宝良
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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