T/BEA 43004-2023 飞安（fA）级电容式微电流表校准规范

范围:本规范规定了飞安（fA）级电容式微电流表的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。 本规范适用于量程范围在10fA～1pA，分辨力≥1fA，采用电容-电压法原理的电容式微电流表的校准; 主要技术内容:4  概述4.1  用途飞安（fA）级电容式微电流表（以下简称被校表）是辐射量、高值电阻、真空度等传感器输出微弱电流信号一种仪器，电流测量分辨力达到fA量级。4.2  原理及结构根据前置信号调理器的工作原理不同，电容式微电流表可分为电容采样式和电容反馈式。原理如下：电容采样式直流微电流表：如图1所示，由采样低值电容器、静电放大器和直流电压斜率测量等部分组成。电容反馈式直流微电流表：如图2所示，由采样低值电阻器、静电放大器和电压斜率测量等部分组成。5  计量特性5.1  外观飞安（fA）级电容式微电流表上应有以下标志：仪器名称、型号、制造厂名及出厂编号、制造日期等。5.2  示值误差5.3  最大允许误差6  校准条件6.1  环境条件环境温度：（20±2）℃；相对湿度：（50±10）％；供电电源：（220±22）V，（50±1）Hz；实验室应有电磁屏蔽和防静电措施；有可靠接地，无强电磁场干扰，尽量减少实验室内的电子设备，减少实验室内的人员，校准时应尽量减少人员移动和活动；宜干燥季节校准，运输和贮存应做好防潮包装。6.2  校准项目及设备校准项目见下表1。测量用标准设备应经计量技术机构检定或校准，满足溯源要求。标准设备的测量范围应覆盖被校表的范围，并具有足够的分辨力、准确度和稳定性。测量标准的扩展不确定度（k=2）小于被校表最大允许误差的1/3。根据采用的校准方法，在如下设备中选择合适的标准器及配套设备。a)恒流式（或者ACTIVE）直流电流标准源，例如keithley 6430、keithley 263；b)恒压式（或者PASSIVE）直流电流标准源c)直流标准电压源；d)标准电阻，例如keithley 5156。7  校准方法7.1  外观检查目测检查。7.2  工作正常性检查通电后被校表应能工作正常，各种指示应准确，各按键功能应正常，输入信号显示应符合要求。显示屏和各种状态指示灯（标志）应正常。7.3  电流测量示值误差/最大允许误差为保障被校表性能稳定，应在规定的环境条件下放置2小时以上，并按说明书和实际工作需要进行预热。传输信号的连接电缆