T/HBZXL 008-2022 红外金属化窗片

ICS17.180.01

CCSL52

团体标准

T/HBZXL008—2022

红外金属化窗片

Infraredmetallizedwindow

2022⁃08⁃11发布2022⁃08⁃15实施

河北省中小企业服务联合会发布

中国标准出版社出版

T/HBZXL008—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由河北省中小企业服务联合会提出并归口。

本文件起草单位：唐山斯腾光电科技有限公司、唐山万士和电子有限公司、鲁东大学、常州市万华

激光科技有限公司、东莞先导先进科技有限公司、洛阳领势新材料科技有限公司、南京美轩光电材料有

限公司、江苏宇迪光学股份有限公司通州分公司、河北专精特新科技服务有限公司。

本文件主要起草人：王丽娟、张秀明、李剑、张德新、段洪伟、马晓光、殷锡涛、鲍刚华、陈钢、李晓斌、

戴海军、冒建军、柴珊珊、宋步学、刘永娜、王书锋、李志杰、赵璐。

Ⅰ

T/HBZXL008—2022

红外金属化窗片

1范围

本文件规定了红外金属化窗片的要求、试验方法、检验规则、质量证明文件、标志、包装、运输和

贮存。

本文件适用于2µm~14µm波段的红外金属化窗片。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于

本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1185—2006光学零件表面疵病

GB/T26332.1—2018光学和光子学光学薄膜第1部分：术语

GB/T26332.3—2015光学和光子学光学薄膜第3部分：环境适应性

GB/T26332.4—2015光学和光子学光学薄膜第4部分：规定的试验方法

QJ1697红外干涉滤光片通用技术条件

3术语和定义

GB/T26332.1—2018和QJ1697界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

基片substrate

根据窗片要求所选定的光学基材。

3.2

金属化窗片metallizedwindow

在基片全表面或边缘镀以纯金属或合金膜，且金属膜的边缘可直接焊接或连接到光学机械装置的

光学窗片。

3.3

红外金属化窗片infraredmetallizedwindow

满足红外要求的金属化窗片。

注：简称“窗片”。

4要求

4.1光学特性

在未指定特殊指标的前提下，光谱特性应用同等材质的样片来表征，具体应符合表1的规定。

1

T/HBZXL008—2022

表1光学特性

平均透射率（Tavg）

材质基本厚度/mm目标波段/µm

8µm~12µm12µm~14µm

锗0.3~1.18~14>95%>88%

单晶硅0.3~1.18~14>92%>85%

硒化锌0.3~1.18~14>95%>88%

蓝宝石0.3~1.18~14>95%>88%

玻璃0.3~1.18~14>95%>88%

4.2尺寸精度

4.2.1外形尺寸

窗片外形尺寸及精度应满足下列要求：

a）窗片外形尺寸应符合产品设计图样要求；

b）直径偏差为0mm~0.1mm；

c）厚度偏差为±0.05mm；

d）平面度不大于0.05mm。

4.2.2镀层

应按附录A的规定，对外供基片进行入厂验收、复检合格后方可进行镀膜加工。

镀膜层应均匀，厚度偏差不大于10%。

4.3表面质量

4.3.1基本要求

应符合设计图样要求，且应光洁、细腻、平整，粗糙度应小于50nm。

不应有喷溅点、微粒、细微灰尘、节瘤、划痕、发状划痕、断裂、裂纹、色斑、磨损、纤维纹、薄膜空

缺、起皮、剥落、起泡等表面缺陷。

注：窗片膜面包括光学膜及边缘密封金属膜。

4.3.2允许瑕疵

应符合表2的规定。

表2允许瑕疵

瑕疵名称允许值

≤0.06mm，且条数≤3条，划痕间距离<0.1mm，划痕宽度可累加；

表面划痕宽度

宽度<0.01mm的，可忽略不计

表面麻点≤0.4mm，任意两麻点之间距应>1.0mm，否则认为1个麻点；<0.25mm麻点可忽略不计

表面针孔针孔按照表面麻点标准执行

注：允许位于焦平面外有且不影响光学性能和耐用度要求的个别微小瑕疵。