T/BEA 43007-2024 电子器件微小漏率检测方法

范围:本标准适用于电子仪器行业中，检测漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范围内的行波管、速调管、光电器件、陀螺仪、功率开关器件等电子器件产品; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1  超灵敏度检漏 Ultrasensitive leak detection将漏率小于1×10-11 Pa·m3/s的微小漏率检测检称为超灵敏度检漏。3.2  离子流 Ion current质谱计测量气体成分指示的电信号强度大小，其单位为安培。3.3  累积比较法 Cumulative comparison method将被检件泄漏的示漏气体和标准气体流量分别引入质谱分析室内，在质谱分析室切断真空抽气机组后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在质谱分析室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量所泄漏示漏气体引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件泄漏漏率的方法。4  概述4.1  构造电子器件微小漏率检测使用的超灵敏度检漏仪主要由内置标准气体流量、质谱分析系统、真空获得系统、电子线路及其他电气部分组成，1为真空抽气机组；2、4、8、9为真空阀门；3为质谱分析室；5为吸气剂泵；6为质谱计；7为内置标准气体流量；10为被检件；13为真空计。装置结构原理图如图1所示。图1 超灵敏度检漏仪结构原理图4.2  原理将被检件泄漏的示漏气体和超灵敏度检漏仪内置标准气体流量分别引入真空室内，在真空室切断抽气系统后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在真空室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件的漏率。被检测的漏率通过公式（1）计算：Q_L=Q_s  (R_L-R_0)/(R_s-R_0 )（1）其中，Q_s 是超灵敏度检漏仪内置标准气体流量7的漏率值；Q_L是超灵敏度检漏仪测得的被检件10的漏率值；R0是在t0时间内质谱计6测量到质谱分析室3中氦气本底离子流信号变化ΔI_0的变化率，即R_0=(ΔI_0)/(Δt_0 )；R_L是在Δt_L时间内质谱计6测量到质谱分析室3中被检件提供氦气离子流信号变化ΔI_L的变化率，即R_L=(ΔI_L)/(Δt_L )；R_s为质谱计6在Δt_s时间内测量到质