DB44/T 1527-2015 微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

DB44/T 1527-2015 Microscopic analysis of scanning electron microscopy (SEM) images for evaluation of image clarity

广东省地方标准 简体中文 现行 页数:79页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
DB44/T 1527-2015
标准类型
广东省地方标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2015-01-30
实施日期
2015-04-30
发布单位/组织
广东省质量技术监督局
归口单位
广东省质量技术监督局
适用范围
本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

发布历史

研制信息

起草单位:
广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司
起草人:
王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文
出版信息:
页数:79页 | 字数:- | 开本: -

内容描述

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