GB/T 4314-2000 吸气剂术语

前言

本标准是对吸气剂名词术语的修订

本标准对原标准做了如下修订

对气体量吸附吸收非蒸散型吸气剂吸气剂载体吸气剂支架比吸着容量比含气量总含

气量预处理后含气量总蒸时间起蒸时间及蒸散等术语的名称定义重新进行了改写

对某些定义补充出计量单位例如气体量漏放率吸气表面吸着容量比吸着容量总吸着容

量

将掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法以及释

汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法中所涉及的试样释氮吸气动态曲线释氮

量释汞量总释汞量标准释汞量释汞率释汞特性曲线及释汞吸气剂热稳定性等定义一并列入到

标准中

根据近年来相继研制出的一些新的非蒸散型吸气剂增加了一些新的吸气剂术语例如低温激

活型吸气剂高温激活型吸气剂高温吸气剂高牢固度吸气剂热子型吸气剂吸气剂泵及耐高温型吸

气剂等此外还增加了放气量及氢气吸着曲线术语

根据国际单位制及其应用的规定此次修订统一将各术语单位名称改为国际

单位制

本标准自实施之日起同时代替

本标准由中华人民共和国信息产业部提出

本标准由信息产业部电子工业标准化研究所归口

本标准起草单位信息产业部电子工业标准化研究所华东电子集团

本标准主要起草人李晓英陈金云钱永生

本标准于年月首次发布

中华人民共和国国家标准

吸气剂术语

代替

范围

本标准规定了吸气剂一般术语分类术语及特性术语

本标准适用于真空器件用吸气剂

一般术语

气体量

处于统计平衡态的理想气体所具有的动能量度其值等于气体所有的体积与其压力的乘积必

要时应注明气体温度或换算成时的数值单位为帕斯卡立方米或焦尔

吸附相分子

已吸附在固体表面上的气体分子

气相分子

对应于吸附相分子而言处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子

气流量

单位时间内通过某截面的气体量单位为帕斯卡立方米每秒

漏放率

系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量单位为帕斯卡立方米每秒

吸附

吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象有时也可以更明确地说成表面吸附

吸收

气体或蒸汽扩散进入到吸气剂或吸气剂膜内部的现象

吸气

吸着

由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程

脱附

吸着气体的释放现象

脱附速率

放气或除气速率

在一定压力和温度下单位时间内固体表面脱附的气体体积数单位为立方米每秒

放气

真空状态下材料中气体的自发脱附现象

国家质量技术监督局批准实施

除气

促使材料中气体脱附的工艺

表面扩散

吸附相分子沿吸气剂表面的扩散

表面扩散活化能

单位摩尔气体分子或原子由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能

量单位为焦尔每摩尔

体扩散

气体在吸气剂体内的扩散

体扩散活化能

单位摩尔气体分子原子进行体扩散时所需的最小能量单位为焦尔每摩尔

分类术语

吸气剂

在一定条件下能有效地吸着某些某种气体或蒸汽以获得维持真空以及纯化气体等的材料

制剂或装置

吸气材料

在一定条件下对某些某种气体具有特殊活性的材料实际使用中可以根据材料的组分称呼

为吸气金属吸气合金等

吸气剂膜

吸气剂中的吸气材料经蒸散后在沉积面上形成的薄膜

单质型吸气剂

由单一元素材料制成的吸气剂

合金型吸气剂

由合金材料制成的吸气剂

蒸散型吸气剂

需采用蒸散工艺吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂

反应型吸气剂

蒸散时兼有化学反应的吸气剂

吸热型吸气剂

蒸散时呈吸热反应的吸气剂

放热型吸气剂

蒸散时呈放热反应的吸气剂

非蒸散型吸气剂

不需蒸散在一定条件下激活后即有吸气作用的吸气剂

体吸气剂

表面与实体都能参与吸气其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂

低温吸气剂

经激活后在常温下具备良好吸气能力的吸气剂

高温吸气剂

经激活后在以上能充分发挥其吸气性能的吸气剂

低温激活型吸气剂

在以下可以有效激活的吸气剂

高温激活型吸气剂

在以上可以有效激活的吸气剂

高牢固度吸气剂

在一定振动条件下没有超过微米级微粒脱落的吸气剂

热子型吸气剂

以热子加热方式进行激活的吸气剂

吸气剂载体

吸气剂容器

装载吸气剂载料的器具其形状有带槽环碟管等相应称呼为吸气剂带吸气剂环吸气剂

碟吸气剂管等

电阻加热型吸气剂载体

以直接通电加热方式来加热的吸气剂载体有时也称开式载体开式容器

感应加热型吸气剂载体

以感应加热方式来加热的吸气剂载体有时也称闭式载体闭式容器

吸气剂支架

用来将吸气剂安装和定位在真空器件中的辅助件形状有带杆框等

吸气剂支撑

用来把吸气剂及其支架如果有的话固定在吸气剂测试泡特定位置用的机构

反射器

在蒸散型吸气剂蒸散时使吸气材料作定向蒸散的零件

吸气剂装置

由吸气材料辅助材料载体和其他专用部件组合在一起的综合体在实际使用中允许简称吸气

剂

吸气剂载料

装载于吸气剂载体的吸气材料含掺气合金和辅助材料的混合物

吸气剂装载量

装入吸气剂载体中的吸气剂载料的重量单位为克

掺气

在蒸散型吸气剂的蒸散过程中让一定量合适气体同时进入空间的手段目的在于改善吸气剂膜

的结构和分布用以提高吸气剂膜的吸气能力

掺气合金

在室温下稳定的加热到一定温度时能释放出适量的被掺气体的合金如能释放出氮气的合金叫

掺氮合金

掺气吸气剂

含有掺气合金的吸气剂如采用掺氮合金时就称掺氮吸气剂

延迟掺气吸气剂

在蒸散过程中分期释放被掺气体的掺气吸气剂如采用掺氮吸气剂时就叫延迟掺氮吸气剂

全产额吸气剂

蒸散型吸气剂中吸气材料接近全部蒸散的吸气剂有时也称为全得率吸气剂

复合型吸气剂

装有蒸散和非蒸散两种类型吸气材料的吸气剂

释汞剂

经过一定的工艺处理后能获得纯汞的制品

释汞吸气剂

装有释汞剂的吸气剂

碱金属释放剂

经过一定工艺处理后能获得碱金属的制品

碱金属释放吸气剂

将吸气合金作为还原剂的碱金属释放剂

吸气剂泵

以吸气材料压结带或粉为吸气源的装置可以代替钛升华泵与溅散离子泵配