SJ 21256-2018 溅射镀膜设备工艺验证方法
SJ 21256-2018 Technological verification procedures for film sputtering equipment
行业标准-电子
中文(简体)
现行
页数：10页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ 21256-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。
本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设备(以下简称镀膜设备)工艺性能的验证
发布历史
-
2018年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 起草人：
- 佘鹏程、陈特超、张赛、胡凡
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/NJ 1303-2022 种子丸化机 2022-04-26
- T/CAAMM 306-2023 农业机械自主作业数字地图构建 技术规范 2023-12-25
- T/SAAMM 1007-2022 花生摘果机 2022-11-16
- T/SAAMM 1043-2023 履带式果园施肥机 2023-12-15
- T/NJ 1121-2018 农林拖拉机和机具 进气橡胶软管 2018-03-06
- T/JSEFA 005-2023 香菇固体菌种接种机 2023-12-18
- T/NJ 1112-2018 农业机械 组合扒谷机 2018-12-24
- T/JSQA 106-2021 远射程测控一体化喷灌机 2021-09-30
- T/NJ 1181-2019 生物质颗粒热风炉 2019-12-24
- T/NJ 1105-2018 农业机械 玉米行间耕播机 2018-12-24