T/HNIA 007-2025 MEMS流量传感器性能测试与评定方法
T/HNIA 007-2025 MEMS flow sensor performance testing and evaluation methods
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/HNIA 007-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-03-24
实施日期
2026-04-25
发布单位/组织
-
归口单位
河南省仪器仪表行业协会
适用范围
本标准规定了基于硅基微机电系统（MEMS）技术的流量传感器（以下简称“传感器”）的性能参数、测试条件、测试方法及评定要求。本标准适用于测量气体或液体的MEMS流量传感器的性能测试与评定。其他类型的微型流量传感器可参照使用
发布历史
-
2026年03月
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研制信息
- 起草单位：
- 郑州炜盛电子科技有限公司、青岛芯笙微纳电子科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十九研究所、山东大学、北京卫星环境工程研究所
- 起草人：
- 任红军、金贵新、杨承霖、尚中锋、高胜国、李明辉、郭琦、陈伟、范宏强、陶继方、刘智辉、綦磊、田伟、李子旭、林聪、渠娜娜、刘旭娟、刘利利
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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