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T/ZGM 011-2023 半导体行业超纯水制备终端用超滤膜组件产品认证技术要求

T/ZGM 011-2023 The technical requirements for the certification of ultrafiltration membrane components used in the production of ultra-pure water for the semiconductor industry

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZGM 011-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J77 分离机械
国际标准分类号（ICS）
07.060 地质学、气象学、水文学
发布日期
2023-10-11
实施日期
2023-10-18
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
主要技术内容:超滤膜元件适用范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求和测试方法等

发布历史

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研制信息

起草单位：
杭州科百特过滤器材有限公司、天津膜天膜科技股份有限公司、华东理工大学、中国电子系统工程第四建设有限公司、万华化学集团股份有限公司、沃顿科技股份有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、天津鼎芯膜科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司
起草人：
贾建东、范宁、程亮、鄢凯、魏汉辉、金焱、刘伟、张磊、石川、陈宁、张优慰、张海生、魏永明、彭美华
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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