T/CEMIA 033-2023 半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

ICS31.030

CCSL90

团体标准

/—

TCEMIA0332023

半导体制程英寸()

8200mm

英寸()用石英玻璃炉管

12300mm

uartzlasstubefor8in12inSemiconductorProcess

Qg

2023-06-08发布2023-09-08实施

中国电子材料行业协会发布

中国标准出版社出版

/—

TCEMIA0332023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

:、、

本文件起草单位上海强华实业股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司北方集成电路

()、、。

技术创新中心北京有限公司北京凯德石英股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人蓝呈吕红兵张婷婷余韦华周文华周韦军李军竹芦英杨慧萍曹永友

、。

张忠恕王友军

Ⅰ

/—

TCEMIA0332023

半导体制程英寸()

8200mm

英寸()用石英玻璃炉管

12300mm

1范围

()(),

本文件规定了半导体制程英寸英寸用石英玻璃炉管的术语和定义分类

8200mm12300mm

,,,,、、。

和产品结构技术要求试验方法检验规则标志包装贮存和运输

()(),

本文件适用于半导体扩散工艺制程英寸英寸用石英玻璃炉管制品包含

8200mm12300mm

、、(“”),

石英外管石英内管石英工艺管及石英双层管以下简称石英玻璃炉管不适用于14nm及以下半

导体制程用石英玻璃炉管。

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/石英玻璃化学成分分析方法

GBT3284

/石英玻璃中羟基含量检验方法

GBT12442

/石英玻璃术语

JCT2205

:(

洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度的分级

ISO14644-11Cleanroomsandassociated

—:)

controlledenvironmentsPart1Classificationofaircleanlinessbarticleconcentration

yp

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

JCT2205

3.1

气泡bubble

、。

石英玻璃管内壁的圆形椭圆形空穴

[:/—,,]

来源JCT220520144.1有修改

3.2

破皮气泡oenbubble

p

暴露在石英玻璃管内或外表面的开口气泡。

[:/—,,]

来源JCT220520144.2有修改

3.3

气线airline

、。

石英玻璃管壁内或表面平行于管长方向的线状梭状空穴

[:/—,,]

来源JCT220520144.4有修改

3.4

破皮气线oenairline

p

暴露在石英玻璃管内或外表面的开口气线。

1