YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

YS/T 1068-2015 Ruthenium powder for ruthenium sputttering target

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数:6页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
YS/T 1068-2015
相关服务
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。

发布历史

研制信息

起草单位:
贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:
谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋
出版信息:
页数:6页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS77.150.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST10682015

制备钌靶用钌粉

Rutheniumowderforrutheniumsuttterintaret

ppgg

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

制备钌靶用钌粉

/—

YST10682015

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中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号()

2100029

北京市西城区三里河北街号()

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服务热线:

400-168-0010

010-68522006

年月第一版

201510

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书号:·

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