T/SZBX 178-2024 激光直写光刻设备
T/SZBX 178-2024 Laser direct writing lithography equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SZBX 178-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-07-29
实施日期
2024-07-30
发布单位/组织
-
归口单位
苏州市标准化协会
适用范围
范围:本文件适用于单面PCB板制造等场景用的激光直写光刻设备(以下简称光刻设备);
主要技术内容:本文件规定了激光直写光刻设备的分类与编码/构成、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存
发布历史
-
2024年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公司、中国质量认证中心有限公司、苏州市质量和标准化院
- 起草人：
- 本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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