T/SZBX 178-2024 激光直写光刻设备
T/SZBX 178-2024 Laser direct writing lithography equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SZBX 178-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-07-29
实施日期
2024-07-30
发布单位/组织
-
归口单位
苏州市标准化协会
适用范围
范围:本文件适用于单面PCB板制造等场景用的激光直写光刻设备(以下简称光刻设备);
主要技术内容:本文件规定了激光直写光刻设备的分类与编码/构成、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存
发布历史
-
2024年07月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公司、中国质量认证中心有限公司、苏州市质量和标准化院
- 起草人：
- 本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CIECCPA 071-2025 保护气氛电渣重熔炉冶炼单位产品能源消耗技术要求 2025-05-23
- T/CITS 435-2025 聚变堆水冷固态包层部件制造和检测规范 2025-05-26
- T/EJCCCSE 276-2025 不锈钢内翅片冷凝器技术规范 2025-05-28
- T/CITS 422-2025 抽水循环反重力发电（外齿水轮机传动）技术要求 2025-05-23
- T/CITS 433-2025 磁约束核聚变装置轧制钨板材料技术要求 2025-05-26
- T/TMAC 149-2025 新能源汽车热管理系统用电动压缩机技术要求 1970-01-01
- T/XDHX 0012-2025 35kV～220kV变电站感知层设备配置规范 2025-05-23
- T/XDHX 0011-2025 油浸式变压器健康状态评价导则 2025-05-23
- T/QGCML 4864-2025 荒漠地区光伏发电系统安装与运维技术规范 2025-05-24
- T/CAPS 026-2025 绿色低碳产品评价规范 氢燃料电池 2025-05-26