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T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

T/QGCML 4573-2024 The production and manufacturing specifications for high-precision, ultra-clean crystal wafer electrochemical plating chamber grid disks with precise accuracy

团体标准 中文(简体) 现行 页数：7页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/QGCML 4573-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
31.020 电子元器件综合
发布日期
2024-08-12
实施日期
2024-08-27
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造

发布历史

文前页预览

T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范-第1页
T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范-第2页

研制信息

起草单位：
常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
起草人：
罗中平、雷超、赵鹏志
出版信息：
页数：7页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS31.020

CCSH80

团体标准

T/QGCML4573—2024

高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘

生产制造规范

Manufacturingspecificationforhighprecisionandultracleanwaferelectrochemical

electroplatingchambergriddisk

2024-08-12发布2024-08-27实施

全国城市工业品贸易中心联合会  发布

T/QGCML4573—2024

目次

前言..................................................................................II

1范围................................................................................1

2规范性引用文件......................................................................1

3术语和定义..........................................................................1

4缩略语..............................................................................2

5场地和人员..........................................................................2

6设备................................................................................2

7材料................................................................................2

8加工流程............................................................................3

9成品质量............................................................................3

10环境保护...........................................................................3

11安全...............................................................................4

I

T/QGCML4573—2024

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