JJG 331-1994 激光干涉比长仪

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中华人民共和国国家计量检定规程

JJG331-1994

激光干涉比长仪

LaserInterferenceComparator

1994一07一12发布1995一01一01实施

国家技术监督局发布

JJG331-1994

产。.0.0.0.口，0.0.0.0.O.O.0.0.0.、

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激光干涉比长仪检定规程b。4

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LaserInterferenceComparator

本检定规程经国家技术监督局于1994年07月12日批准，并自1995

年01月01日起施行。

归口单位:中国计量科学研究院

起草单位:中国计量科学研究院

本规程技术条文由起草单位负责解释

JJG331-1994

本规程主要起草人:

蒋埙(中国计量科学研究院)

参加起草人:

王黎蓄(中国计量科学研究院)

汪德宝(中国计量科学研究院)

JJG331-1994

目录

一概述······，·，，，，，·············，··，·················，，·············，···········‘······，，，，(1)

二检定项目和检定条件.·(1)

三检定要求和检定方法·(2)

四检定结果的处理.·(6)

附录1激光器、测温装置及折射率测量装置的检定要求························……(7)

附录2测量环境下脉冲当量Q。的计算实例·······································……(8)

附录3各种温度的饱和蒸气压表·······················‘············，··············……(9)

ITG331-1994

激光干涉比长仪检定规程

本规程适用于新制造的、使用中和修理后的激光干涉比长仪的检定。

一概述

激光干涉比长仪(以下简称比长仪)是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪

器。它主要用于检定长度至1000mm的一、二等标准金属线纹尺;一、二等标准玻璃

线纹尺，以及不确定度优于一等标准金属尺的基准尺。

检定长度小于1000mm的激光干涉比长仪其被检项目与要求可参照本规程进行。

比长仪的准确度可按线纹尺检定结果的总不确定度(置信水平0.99)分为两类:

(A)U=(0.06+OAL)tm

(B)U=(0.1+0.1L)tm

式中:L—被测长度，mo

比长仪主要由He-Ne激光器、干涉仪、机械主体、光电显微镜、温度测量装置与

数据处理装置(计算机)等七个部分组成。

二检定项目和检定条件

比长仪的检定项目和主要检定条件如表1所示。

表1

序检定类别

检定项目主要检定条件

号新制的修理的使用中

1外观目测++

2激光平行光束的均匀性纸屏+++

3干涉条纹的对比度及输出信号的质量纸屏、二踪示波器+++

4工作台运动直线度0.2”自准直仪++

5测量光束与运动方向的一致性专用检具++

6工作台运动速度均匀性频率计++

平面镜、自准直仪、金

7光电显微镜十+

属尺、玻璃尺、10"水泡

8测量重复性金属尺、玻璃