DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

ICS31.030

L90

DB1310

廊坊市地方标准

DB1310/T227—2020

电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺

技术规范

2020-10-16发布2020-11-16实施

廊坊市市场监督管理局发布

DB1310/T227—2020

前  言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。

本标准起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。

本标准主要起草人：贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。

I

DB1310/T227—2020

电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范

1范围

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工

艺过程、环境要求和管理要求。

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB8978污水综合排放标准

GB12348工业企业厂界环境噪声排放标准

GB16297大气污染物综合排放标准

GB18597危险废物贮存污染控制标准

GB18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准

GB50034建筑照明设计标准

GB50073洁净厂房设计规范

GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一部分化学有害因素）

GBZ188职业健康监护技术规范

GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电弧熔制arcfusion

利用高温电弧熔融石英砂原料的过程

3.2

涂层coating

在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。

4从业人员

4.1职业健康

1

DB1310/T227—2020

应按照GBZ188的要求