DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
DB1310/T 227-2020 Electronic special material monocrystalline silicon growth quartz crucible process technical specification
基本信息
发布历史
-
2020年10月
研制信息
- 起草单位:
- 廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
- 起草人:
- 出版信息:
- 页数:7页 | 字数:- | 开本: -
内容描述
ICS31.030
L90
DB1310
廊坊市地方标准
DB1310/T227—2020
电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺
技术规范
2020-10-16发布2020-11-16实施
廊坊市市场监督管理局发布
DB1310/T227—2020
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。
本标准起草单位:廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。
本标准主要起草人:贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。
I
DB1310/T227—2020
电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
1范围
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工
艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB8978污水综合排放标准
GB12348工业企业厂界环境噪声排放标准
GB16297大气污染物综合排放标准
GB18597危险废物贮存污染控制标准
GB18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准
GB50034建筑照明设计标准
GB50073洁净厂房设计规范
GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值(第一部分化学有害因素)
GBZ188职业健康监护技术规范
GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分:噪声
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电弧熔制arcfusion
利用高温电弧熔融石英砂原料的过程
3.2
涂层coating
在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。
4从业人员
4.1职业健康
1
DB1310/T227—2020
应按照GBZ188的要求
定制服务
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