T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
T/CASAS 032-2023 Determination of metal element content on the surface of silicon carbide wafers using inductively coupled plasma mass spectrometry
基本信息
发布历史
-
2023年06月
研制信息
- 起草单位：
- 山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
- 起草人：
- 崔潆心、陈秀芳、谢雪健、杨祥龙、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
ICS29.045
CCSH80/84
团体标准
T/CASAS032—2023
碳化硅晶片表面金属元素含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Testmethodforthecontentofmetalelementsonthesurfaceof
siliconcarbidewafer—Inductivelycoupledplasmamass
spectrometry
版本：V01.00
2023-06-19发布2023-06-19实施
第三代半导体产业技术创新战略联盟发布
T/CASAS032—2023
目次
前言....................................................................................................................................................................III
引言....................................................................................................................................................................IV
1范围..................................................................................................................................................................1
2规范性引用文件..............................................................................................................................................1
3术语和定义......................................................................................................................................................1
4方法提要..........................................................................................................................................................2
5方法原理..........................................................................................................................................................2
6干扰因素..........................................................................................................................................................2
7试剂与材料......................................................................................................................................................2
8测量仪器与测试环境......................................................................................................................................3
测量仪器...................................................................................................................................................3
测试环境...................................................................................................................................................3
9直接酸滴分解法扫描溶液的制备..................................................................................................................3
手动法.......................................................................................................................................................3
自动法.......................................................................................................................................................4
10待测元素质量数选择....................................................................................................................................4
11校准曲线........................................................................................................................................................4
12测定次数......................................................................................................
定制服务
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