T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

T/CASAS 032-2023 Determination of metal element content on the surface of silicon carbide wafers using inductively coupled plasma mass spectrometry

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基本信息

标准号

T/CASAS 032-2023

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

发布日期

2023-06-19

实施日期

2023-06-19

发布单位/组织

归口单位

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

适用范围

本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅晶片表面金属元素含量的方法。本文件适用于碳化硅单晶抛光片和碳化硅外延片表面痕量金属钠、铝、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、银、钨、金、汞等元素含量的测定，测定范围为108 cm-2～1012 cm-2。本文件适用于100 mm(4吋)～200 mm(8吋)碳化硅原生晶片、碳化硅退火片等无图形碳化硅晶片表面痕量金属元素含量的测定。注：碳化硅晶片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计

发布历史

2023年06月

T/CASAS 032-2023　碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

当前标准现行 2023-06-19

文前页预览

T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法-第1页

T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法-第2页

研制信息

起草单位：: 山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草人：: 崔潆心、陈秀芳、谢雪健、杨祥龙、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏

出版信息：: 页数：9页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS29.045

CCSH80/84

团体标准

T/CASAS032—2023

碳化硅晶片表面金属元素含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Testmethodforthecontentofmetalelementsonthesurfaceof

siliconcarbidewafer—Inductivelycoupledplasmamass

spectrometry

版本：V01.00

2023-06-19发布2023-06-19实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASAS032—2023

前言....................................................................................................................................................................III

引言....................................................................................................................................................................IV

1范围..................................................................................................................................................................1

2规范性引用文件..............................................................................................................................................1

3术语和定义......................................................................................................................................................1

4方法提要..........................................................................................................................................................2

5方法原理..........................................................................................................................................................2

6干扰因素..........................................................................................................................................................2

7试剂与材料......................................................................................................................................................2

8测量仪器与测试环境......................................................................................................................................3

测量仪器...................................................................................................................................................3

测试环境...................................................................................................................................................3

9直接酸滴分解法扫描溶液的制备..................................................................................................................3

手动法.......................................................................................................................................................3

自动法.......................................................................................................................................................4

10待测元素质量数选择....................................................................................................................................4

11校准曲线........................................................................................................................................................4

12测定次数......................................................................................................

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