T/YGAZXH 1-2024 铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法
T/YGAZXH 1-2024 The observation and grading method of internal grain patterns on lithium niobate wafers
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/YGAZXH 1-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-09-26
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件描述了采用纹影法对铌酸锂晶圆内部脉理条纹进行观测及分级的方法。本文件适用于铌酸锂晶圆内部脉理条纹的观测及分级
发布历史
-
2024年09月
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研制信息
- 起草单位:
- 江西匀晶光电技术有限公司、济南晶正电子科技有限公司、北京世维通科技股份 有限公司、珠海光库科技股份有限公司、华中科技大学
- 起草人:
- 夏宗仁、胡文、王旭阳、吉贵军、孙军强
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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