JC/T 3044-2026 金刚石膜中硼掺杂含量的测定 二次离子质谱法

JC/T 3044-2026 The determination of boron doping content in diamond films using secondary ion mass spectrometry

行业标准-建材 简体中文 即将实施 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
JC/T 3044-2026
标准类型
行业标准-建材
标准状态
即将实施
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2026-06-01
实施日期
2026-12-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国人工晶体标准化技术委员会
适用范围
本文件规定了金刚石膜中硼掺杂含量的二次离子质谱测试方法的原理、试验条件、仪器设备、样品、测试步骤、数据处理、不确定度分析和试验报告。 本文件适用于金刚石膜材料中硼掺杂含量的定量分析,测定范围为硼含量不小于5×1013cm-3,不大于1×1023 cm-3。

发布历史

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研制信息

起草单位:
中材人工晶体研究院有限公司、中材人工晶体研究院(山东)有限公司、北京科技大学、江西欣远新材料科技有限公司、哈尔滨工业大学、广州德百顺蓝钻科技有限公司、西南技术物理研究所
起草人:
曹延新、赵小玻、王玉宝、王颖、李成明、魏华阳、玄真武、刘本建、朱嘉琦、张文英、徐金昌、张伟
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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