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SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015 Oxide Buffer Etchant Etrodeposition Solution for Integrated Circuits

行业标准-电子 简体中文 现行 页数：10页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 11507-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90/94 电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类号（ICS）
31.030 电子技术专用材料
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-

发布历史

文前页预览

SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液-第1页
SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液-第2页
SJ/T 11507-2015 集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液-第3页

研制信息

起草单位：
江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：
戈士勇、何珂、王周霞 等
出版信息：
页数：10页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

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