GB/T 36306-2024 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

/—

GBT363062024

代替/—

GBT363062018

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制技术要求

—

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments

Technicalreuirementsofairchemicalcontaminationcontrol

q

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT363062024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4污染源……………………1

5空气化学污染控制………………………2

6检测与监测………………3

()…………………

附录资料性洁净室建设材料选用

A5

()……………

附录资料性电子工业洁净室空气化学污染控制系统

B7

()……

附录资料性微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表

C9

()………………

附录资料性洁净室施工阶段化学物浓度控制措施

D11

参考文献……………………13

Ⅰ

/—

GBT363062024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规

GBT1.120201

定起草。

/—《》,

本文件代替洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南与

GBT363062018

/—,,:

GBT363062018相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了标准适用范围见第章年版的第章

a120181

)、、、(

b删除了空气分子污染环境反应监测法污染物气相空气净化装置等术语见2018年版的

、、、);

3.13.23.33.4

)、(、);

c增加了按化学物浓度划分空气洁净度释出气体等术语见3.13.3

)(,);

d更改了空气化学污染物的定义见3.22018年版的3.5

)(、,),(

e更改及增加了污染源来源见4.14.22018年版的4.1删除了分级与分类见2018年版的

4.2);

)、、(、、、),

f增加了一般要求设计施工及运行维护等空气化学污染控制内容见5.15.25.35.4删除

、(、);

了确定是否污染及情况控制措施的内容见2018年版的6.16.2

)“”“”(,),(

更改标题检测为检测与监测见第章年版的第章更改了检测的内容见

g620185

,、),()。

6.12018年版的5.15.2增加了监测的内容见6.2

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC319

:、、

本文件起草单位中国电子工程设计院股份有限公司中国电子系统工程第三建设有限公司中国

、、、

电子系统工程第二建设有限公司中国科学院大气物理研究所苏州安泰空气技术有限公司深圳市亿

、、、、

天净化技术有限公司天津大学苏州华泰空气过滤器有限公司中国标准化协会滨州裕能电子材料股

、、、、

份有限公司北京戴纳实验科技有限公司烟台宝源净化有限公司江汉大学上海市室内环境净化行业

、、、、、

协会中电精泰电子工程有限公司丽兹控股有限公司无锡莱姆顿科技有限公司仲恺农业工程学院

、、、

黄冈鲁班药业股份有限公司上海禾益净化设备制造有限公司佛山市南海东方澳龙制药有限公司深

圳市中建南方环境股份有限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人阎冬刘俊杰王奇勋孙扬李卫夏群艳陈思源霍金鹏郝胤博胡茂从

、、、、、、、、、、、、、

吴志坚耿文韬王芳奚晓鹏丁力行杨云涛杨子强陈锡福王艳严斌裴晶晶周淑贞徐宝平

、、、、。

徐宜彬张长安杨立杨小龙白冰

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

———年首次发布为/—;

2018GBT363062018

———本次为第一次修订。

Ⅲ

/—

GBT363062024

引言

。

本文件的空气化学污染控制技术主要针对有空气化学污染控制要求的洁净室及相关受控环境空

,,

气化学污染物的分子尺寸范围为0.1nm~3nm通常状态下是以气体或蒸气形态存在常规高效过滤

,。

器和超高效过滤器无法有效去除使用粒子计数器也检测不到

,,、

空气化学污染物种类较多不同污染物具有不同的化学性质某些污染物的浓度可随环境的温度

,。,

湿度变化而改变且污染物来源具有很大的随机性随着净化技术和材料的发展空气化学污染物可以

,。

被有效控制和去除能够保障洁净室及相关受控环境内空气化学污染物满足环境限定要求

Ⅳ

/—

GBT363062024

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制技术要求

1范围

,、

本文件规定了洁净室及相关受控环境空气化学污染物控制技术要求包括污染源空气化学污染控

、。

制检测与监测等内容

本文件适用于洁净室及相关受控环境中的空气化学污染控制。

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/—:()

洁净室及相关受控环境第部分按化学物浓度划分空气洁净度

GBT25915.820218ACC

等级

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

按化学物浓度划分空气洁净度;

aircleanlinessbchemicalconcentrationACC

y

、。

以ISO-ACC表示的代表给定的某种或某组化学物种类以克每立方米为单位的最大允许浓度

:,。

注生物大分子归为粒子不包含在本定义内

[:/—,]

来源GBT25915.820213.1.2

3.2

空气化学污染物airchemicalcontaminant

,、、

以气态或蒸气形态存在其化学特性可对洁净室及相关受控环境的产品工艺设备有不良影响的

物质。

3.3

释出气体outassin

gg

从设备和材料中释放出的气态或蒸气态化学物质。

[:/—,,]

来源GBT25915.820213.1.7有修改

4污染源

4.1室外污染源

、、,、

存在于室外大气中可能对洁净室内产品工艺设备产生危害的化学物质主要有硫氧化物氮氧化

、、、。

物臭氧氨挥发性有机化合物等

1