GB 51034-2014 多晶硅工厂设计规范
GB 51034-2014 Code for design of polysilicon plant
国家标准
中文(简体)
现行
页数：63页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB 51034-2014
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-08-27
实施日期
2015-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和硅烷提纯的工程设计
发布历史
-
2014年08月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：63页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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