T/ICMTIA ESG0021-2022 高纯气体产品采样通则

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标准号

T/ICMTIA ESG0021-2022

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

01.020 术语学(原则和协调配合)

发布日期

2022-05-10

实施日期

2022-05-31

发布单位/组织

归口单位

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

适用范围

主要技术内容:本文件规定了与高纯气体分析相关的采样基本原则，采样方案，采样类型，采样系统设计与安全。本文件适用于压力容器或在线管道中的压缩或液化高纯气体，以及部分高纯混合气体的采样

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起草单位：: 上海正帆科技股份有限公司、唐山三孚硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司

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