T/ICMTIA ESG0021-2022 高纯气体产品采样通则
T/ICMTIA ESG0021-2022
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0021-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了与高纯气体分析相关的采样基本原则，采样方案，采样类型，采样系统设计与安全。本文件适用于压力容器或在线管道中的压缩或液化高纯气体，以及部分高纯混合气体的采样
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 上海正帆科技股份有限公司、唐山三孚硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司
- 起草人：
- 李东升、周庆美、蒋玉琳、王春英、周晓咪、王磊、李俊杰、孙建、施旖旎、张蓉、傅铸红、陈艳珊、张长金、纪振红、张广第、张雪刚、朱智敏、赵晓亚
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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