T/CHBAS 49-2023 电子工业用气体 一氟甲烷
T/CHBAS 49-2023 Electronic industry gas - CH3F
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 49-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-22
实施日期
2023-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体
发布历史
-
2023年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
- 起草人：
- 崔雯、倪珊珊、张艳志、马茜茜、张露露、陈良、薛贺来、唐中伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CEIA ESD1001-2017 防静电施工资质评审标准 2017-08-31
- T/ZS 0202-2021 轨道交通场段上盖物业板地防水工程技术标准 2021-04-30
- T/CECS 1051-2022 蒸压轻质混凝土墙板应用技术规程 2022-03-31
- T/CCPA 10-2019 先张法预应力高强混凝土耐腐蚀管桩 2019-08-22
- T/CCAS 014.9-2024 水泥企业安全管理导则 第9部分：水泥工厂预分解窑点火和投料安全 2024-02-28
- T/FJSN 0019-2024 水嘴用喷头 2025-01-03
- T/CCMA 0180-2024 热风微波复合加热式沥青路面再生修补车 2024-01-08
- T/CCAS 036-2024 水泥工厂新、改、扩建设项目安全生产验收评定技术规范 2024-02-28
- T/NAIC 003-2022 预制钢筋混凝土独立基础 2022-11-07
- T/CCAS 039-2024 水泥工厂粉磨系统智能控制技术规范 1970-01-01