T/CHBAS 49-2023 电子工业用气体 一氟甲烷
T/CHBAS 49-2023 Electronic industry gas - CH3F
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 49-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-22
实施日期
2023-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体
发布历史
-
2023年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
- 起草人：
- 崔雯、倪珊珊、张艳志、马茜茜、张露露、陈良、薛贺来、唐中伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/GDID 1002-2018 远红外线光波房 2018-07-05
- T/HMJF 003-2017 高端家纺类产品 枕、垫类产品 2017-08-20
- T/GZF 4-2022 电动型功能沙发 2022-11-18
- T/SDCA 047-2023 泰山品质 双扉洗脱烘一体机 2023-10-17
- T/STBZ 2-2018 潮阳剪纸制作工艺 2018-11-25
- T/ZZB 1692-2020 慢回弹床垫 2020-09-16
- T/CASEI 71002-2019 非公路用旅游观光车辆 定期检验规范 2019-05-31
- T/DGJMJS 008-2020 低碳饮食减脂管理人员职业能力要求 2020-12-10
- T/SZBX 078-2023 儿童学习桌椅 2023-11-08
- T/CAS 360-2019 带增压预热功能家用燃气快速热水器 2019-07-06