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T/CSTA 0052-2023 半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

T/CSTA 0052-2023 Ultra-high purity stainless steel rod for semiconductor manufacturing equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CSTA 0052-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
77.140.60 钢棒和条钢
发布日期
2023-11-30
实施日期
2023-11-30
发布单位/组织
-
归口单位
中关村不锈及特种合金新材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒（圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称，以下简称钢棒）的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸（直径、边长、厚度或对边距离，以下简称尺寸）不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒

发布历史

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研制信息

起草单位：
安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限 公司、冶金工业规划研究院
起草人：
徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、 吴振忠
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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