T/SHPTA 123-2025 半导体清洗设备用聚四氟乙烯专用料
T/SHPTA 123-2025 Specialty material for polytetrafluoroethylene used in semiconductor cleaning equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/SHPTA 123-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-04-29
实施日期
2025-05-29
发布单位/组织
-
归口单位
上海市塑料工程技术学会
适用范围
范围:本文件规定了半导体清洗设备用聚四氟乙烯专用料的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存;
主要技术内容:本文件适用于四氟乙烯单体经聚合,烘干后制得的白色粉末状聚四氟乙烯树脂
发布历史
-
2025年04月
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研制信息
- 起草单位:
- 浙江巨圣氟化学有限公司、江西理文化工有限公司、山东美氟科技股份有限公司、英格尔检测技术服务(上海)有限公司、南轩(天津)科技有限公司
- 起草人:
- 刘文武、赵俊杰、史元坤、危文琦、陈永春、孟庆文、彭于辉
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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