T/CHBAS 46-2023 电子工业用气体 六氟乙烷混合气
T/CHBAS 46-2023 Electronics industry gas mixture of hexafluoropropane
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 46-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-22
实施日期
2023-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体
发布历史
-
2023年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
- 起草人：
- 刘波涛、张长金、郑阳光、吴冉冉、马茜茜、陈良、薛贺来、唐中伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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