T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉

ICS25.180.10

CCSK61

团体标准

T/ZZB0044—2021

代替T/ZZB0044—2016

TDR系列单晶生长炉

TDR-seriescrystalgrowingfurnaces

2021-11-26发布2021-12-26实施

浙江省品牌建设联合会发布

T/ZZB0044—2021

目次

前言................................................................................II

1范围..............................................................................1

2规范性引用文件....................................................................1

3术语和定义........................................................................1

4产品分类..........................................................................1

5基本要求..........................................................................3

6技术要求..........................................................................4

7对设计和制造的补充要求............................................................6

8试验方法..........................................................................7

9检验规则.........................................................................10

10标志、包装、运输、贮存..........................................................10

11订购与供货......................................................................11

12质量承诺........................................................................12

I

T/ZZB0044—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的规

则起草。

本文件代替T/ZZB0044—2016《TDR系列单晶生长炉》，与T/ZZB0044—2016相比，除结构调整和

编辑性改动外，主要技术变化如下：

——扩大了品种范围（见4.1，2016年版的4.1）；

——增加了基本要求中设计研发、原材料、工艺及装备、检验检测四大内容（见第5章，2016年版

的第5章）；

——技术要求中增加了能耗指标要求（见6.2.13）；

——将“设计和制造的补充要求”的部分条款内容单独成第7章（见第7章，2016年版的6.2.11、

6.2.12、6.3.9、6.3.10）；

——完善了与技术要求相对应的试验方法（见第8章，2016年版的第7章）。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省品牌建设联合会提出并归口。

本文件牵头单位：浙江省标准化研究院。

本文件起草单位：浙江晶盛机电股份有限公司。

本文件主要起草人：朱亮、傅林坚、曹建伟、张俊、王巍、严绍军、倪军夫、叶钢飞、郑丽霞、邱

敏秀。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

——本次为第一次修订。

II

T/ZZB0044—2021

TDR系列单晶生长炉

1范围

本文件规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、对设计和制造

的补充要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承诺。

本文件适用于直拉法单晶生长炉（以下简称“单晶炉”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,

仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文

件。

GB/T150.1—2011压力容器第1部分:通用要求

GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置

GB3095—2012环境空气质量标准

GB/T4879—2016防锈包装

GB/T5048—2017防潮包装

GB/T5959.1—2019电热和电磁处理装置的安全第1部分：通用要求

GB/T9239.14机械振动转子平衡第14部分：平衡误差的评估规程

GB/T10066.1—2019电热和电磁处理装置的试验方法第1部分：通用部分

GB/T10066.4—2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉

GB/T10067.1—2019电热和电磁处理装置基本技术条件第1部分：通用部分

GB/T10067.4—2005电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉

GB/T10067.410—2014电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉

GB/T13306—2011标牌

GB/T13384—2008机电产品包装通用技术条件

GB/T16508.4锅壳锅炉第4部分:制造、检验与验收

GB/T24511承压设备用不锈钢和耐热钢钢板和钢带

GB/T32293真空技术真空设备的检漏方法选择

JB/T9691—1999电热设备产品型号编制方法

NB/T47014承压设备焊接工艺评定

3术语和定义

GB/T2900.23—2008、GB/T10066.1—2019、GB/T10067.410—2014界定的术语和定义适用于本文

件。

4产品分类

1

T/ZZB0044—2021

4.1品种和规格

单晶炉按工作室内径尺寸可以分为多个品种，见表1。

表1单晶炉的品种和规格

工作室内径优先尺寸规格

品种代号

cm

TDR80*～TDR180*110、120、130、140、160

注：*为A、B、C、……、Z，表示结构区分代号。

4.2型号

单晶炉的型号规定如下：

TDR

企业代号

结构区分代号

工作室内径，cm

电阻加热

单晶炉

特种电炉

4.3主要参数

在文件中对各个型号的单晶炉应分别列出以下各项主要参数：

a)电源电压，V；

b)电源频率，Hz；

c)相数；

d)晶体最大直径，mm；

e)最大熔料量，kg；

f)工作室尺寸，mm；

g)额定功率，kW；

h)工作温度，℃；

i)最高加热温度，℃；

j)工作电压，V；

k)冷炉极限真空度，Pa；

l)工作真空度：Pa；

m)压升率，Pa/h；

n)空炉抽空时间，min；

o)籽晶慢速升降范围，mm/min；

p)籽晶快速升降范围，mm/min；

q)籽晶转速范围，r/min；

r)籽晶在炉内有效行程，mm；

s)坩埚慢速升降范围，mm/min；

t)坩埚快速升降范围，mm/min；

u)坩埚转速范围，r/min；

2

T/ZZB0044—2021

v)坩埚在炉内有效行程，mm；

w)充气压力，Pa；

x)压缩空气压力，Pa；

y)冷却水压力，Pa；

z)水流量，L/min；

aa)主机重量，kg；

bb)主机外形尺寸，mm；

cc)变压器容量，kVA。

4.4成套组成

单晶炉成套设备一般包括下列各项：

a)单晶炉主机；

b)控制柜；

c)加热电源；

d)主真空泵（含充气阀）；

e)副真空泵（含充