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T/CHBAS 34-2023 集成电路用混合气体 10%氨/氦

T/CHBAS 34-2023 Mixed gas for integrated circuits, 10% ammonia/helium

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CHBAS 34-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
99 其他
发布日期
2023-07-27
实施日期
2023-07-27
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体10%氨/氦的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体10%氨/氦（以下简称10%氨/氦），其它组分比例的氨氦混合气可参照执行

发布历史

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研制信息

起草单位：
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所
起草人：
殷越玲、 柳彤、张净普、安园园、马茜茜、崔雯、赵赛迪、张洁
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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