T/CHBAS 34-2023 集成电路用混合气体 10%氨/氦
T/CHBAS 34-2023 Mixed gas for integrated circuits, 10% ammonia/helium
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 34-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-07-27
实施日期
2023-07-27
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体10%氨/氦的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体10%氨/氦（以下简称10%氨/氦），其它组分比例的氨氦混合气可参照执行
发布历史
-
2023年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所
- 起草人：
- 殷越玲、 柳彤、张净普、安园园、马茜茜、崔雯、赵赛迪、张洁
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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