T/CI 512-2024 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范
T/CI 512-2024 Silicon-based thick metal film electroplating process technology specification
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CI 512-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中国国际科技促进会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力、保障条件、材料、安全与环境操作、检验等技术要求，确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序。
本文件适用于硅基MEMS制造技术中厚金属膜多层布线的电镀加工。
发布历史
-
1970年01月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：25 千字 | 开本： -
内容描述
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