T/CMES 39004-2024 半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范
T/CMES 39004-2024 Semiconductor Wafer Manufacturing Smart Factory Logistics Scheduling Data Generic Specification
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CMES 39004-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-07-01
实施日期
2024-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国机械工程学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体晶圆制造智能工厂集成电路制造过程中生产物流调度涉及到的相关数据通用规范，包括架构、生产资源要求、基础数据模型、状态数据模型和物流调度业务过程数据模型
发布历史
-
2024年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 东华大学、上海应用技术大学、上海交通大学、深圳优艾智合机器人科技有 限公司、上海轩田智能科技股份有限公司、上扬软件（上海）有限公司、通富微电子股份有限公司、 洪启集成电路（珠海）有限公司
- 起草人：
- 张洁、吴立辉、周亚勤、张朋、秦威、陈达、边旭、陈远明、吕凌志、缪小勇、 张启华、吕佑龙、汪俊亮、郑小虎、丁司懿
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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