T/QGCML 4732-2024 晶圆甩干机
T/QGCML 4732-2024 Wafer spin dryer
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4732-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-09-20
实施日期
2024-10-05
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了晶圆甩干机的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于晶圆甩干机的生产和检验
发布历史
-
2024年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 无锡凡华半导体科技有限公司、无锡凡宣机电设备有限公司、宁波至和微电子科技有限公司
- 起草人：
- 邵圣、管锋、诸盛强
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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