T/QGCML 4732-2024 晶圆甩干机

T/QGCML 4732-2024 Wafer spin dryer

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/QGCML 4732-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
-
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2024-09-20
实施日期
2024-10-05
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了晶圆甩干机的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于晶圆甩干机的生产和检验

发布历史

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研制信息

起草单位:
无锡凡华半导体科技有限公司、无锡凡宣机电设备有限公司、宁波至和微电子科技有限公司
起草人:
邵圣、管锋、诸盛强
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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