SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
SJ/T 11554-2015 Determining the content of metal elements in hydrofluoric acid using inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：11页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11554-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2015-10-10
实施日期
2016-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年10月
研制信息
- 起草单位：
- 苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
- 起草人：
- 刘兵、钱森林、王洪华 等
- 出版信息：
- 页数：11页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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