T/CASME 929-2023 半导体设备精密结构组件
T/CASME 929-2023 Semiconductor equipment precision structure component
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 929-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-11-17
实施日期
2023-11-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体设备精密结构组件的生产、检验;
主要技术内容:本文件规定了半导体设备精密结构组件的基本要求、原材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存
发布历史
-
2023年11月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 常州伟泰科技股份有限公司、大连理工江苏研究院有限公司、大连理工大学、常州大连理工大学智能装备研究院、常州机电职业技术学院、内蒙古自治区特种设备检验研究院赤峰分院
- 起草人：
- 张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡福海、刘江、丁国林、麻青春
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 6374-1986 凿岩机械与气动工具尾柄和衬套配合尺寸 1986-05-13
- GB/T 6383-1986 振动空蚀试验方法 1986-05-13
- GB/T 6387-1986 齿科材料名词术语 1986-05-14
- GB/T 6384-1986 船舶及海洋工程用金属材料在天然环境中的海水腐蚀试验方法 1986-05-13
- GB/T 6400-1986 金属丝材和铆钉的高温剪切试验方法 1986-05-17
- GB/T 6388-1986 运输包装收发货标志 1986-05-13
- GB/T 6380-1986 数据的统计处理和解释 I 型极值分布样本异常值的判断和处理 1986-05-13
- GB/T 6379-1986 测试方法的精密度 通过实验室间试验确定标准测试方法的重复性和再现性 1986-05-13
- GB/T 6375-1986 土方机械 牵引力测试方法 1986-05-13
- GB/T 6401-1986 铁素体奥氏体型双相不锈钢中α-相面积含量金相测定法 1986-05-17