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T/CASME 929-2023 半导体设备精密结构组件

T/CASME 929-2023 Semiconductor equipment precision structure component

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CASME 929-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
K 电工
国际标准分类号（ICS）
31.240 电子设备用机械构件
发布日期
2023-11-17
实施日期
2023-11-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体设备精密结构组件的生产、检验; 主要技术内容:本文件规定了半导体设备精密结构组件的基本要求、原材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存

发布历史

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研制信息

起草单位：
常州伟泰科技股份有限公司、大连理工江苏研究院有限公司、大连理工大学、常州大连理工大学智能装备研究院、常州机电职业技术学院、内蒙古自治区特种设备检验研究院赤峰分院
起草人：
张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡福海、刘江、丁国林、麻青春
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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