T/CASME 929-2023 半导体设备精密结构组件
T/CASME 929-2023 Semiconductor equipment precision structure component
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 929-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-11-17
实施日期
2023-11-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体设备精密结构组件的生产、检验;
主要技术内容:本文件规定了半导体设备精密结构组件的基本要求、原材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存
发布历史
-
2023年11月
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研制信息
- 起草单位：
- 常州伟泰科技股份有限公司、大连理工江苏研究院有限公司、大连理工大学、常州大连理工大学智能装备研究院、常州机电职业技术学院、内蒙古自治区特种设备检验研究院赤峰分院
- 起草人：
- 张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡福海、刘江、丁国林、麻青春
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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