T/CASME 1829-2024 激光蚀刻装置

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标准号

T/CASME 1829-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L 电子元器件与信息技术

国际标准分类号（ICS）

31.260 光电子学、激光设备

发布日期

2024-12-20

实施日期

2024-12-30

发布单位/组织

归口单位

中国中小商业企业协会

适用范围

范围:本文件适用于激光蚀刻装置; 主要技术内容:本文件规定了激光蚀刻装置的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

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起草单位：: 杭州众能光电科技有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、国家纳米科学中心、福莱特玻璃集团股份有限公司、杭州柯能新能源有限公司、浙江制能科技有限公司、苏州尚柔新能源有限公司、成都电子科技大学、东方日升新能源股份有限公司、上海安普态新能源有限公司、华侨大学、杭州炬晟光能科技有限公司、华南理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、重庆大学、中国科学技术大学、晶澳（扬州）太阳能科技有限公司、山东科技大学

起草人：: 石磊、刘生忠、丁黎明、阮泽云、谢东、李世彬、刘亚峰、邓士锋、袁世豪、鲁林峰、魏展画、王明华、严克友、徐征、马昌期、骆群、杜敏永、肖作、曹越先、左传天、赵长海、张文君、谢立强、田成波、杨甫、许桂英、陈熙宁、陈德明、臧志刚、胡芹、尹海鹏、唐群委、王华昕、赵双易、陈坤、孙阳、段加龙、赵媛媛、吕键、梁素霞、安文珍、尧辉龙、梁磊、马显、陈雅琪、李云飞、郭靖、何春流

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