GB/T 48076-2026 纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量
GB/T 48076-2026 Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures
国家标准
中文简体
即将实施
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 48076-2026
标准类型
国家标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-08-28
实施日期
2027-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和所需设备等，规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。
本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。
本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。
发布历史
-
2026年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 西安交通大学、中国计量科学研究院、探真纳米科技(衢州)有限公司
- 起草人：
- 杨树明、张国锋、吉培瑞、李适、李伟、崔波、贾宪生
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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