GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范(附条文说明)
GB 50467-2008 Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering
国家标准
中文(简体)
现行
页数：37页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB 50467-2008
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
-
实施日期
2009-07-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产
设备联动调试及试生产。
微电子生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。
微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工，修改设计应有原设计单位的变更通知。
用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格，并应在检定有效期内使用。
微电子生产设备安装工程的施工及验收除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定
发布历史
-
1970年01月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：37页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- FZ/T 94004-2009 挠性剑杆织机 2009-11-17
- FZ/T 73033-2009 大豆蛋白复合纤维针织内衣 2009-11-17
- FZ/T 92039-2009 布铗 2009-11-17
- FZ/T 94054-2009 喷水织机 2009-11-17
- FZ/T 94046-2009 喷气织机用异形筘技术条件 2009-11-17
- FZ/T 73034-2009 半精纺毛针织品 2009-11-17
- FZ/T 73032-2009 针织牛仔服装 2009-11-17
- FZ/T 90054-2009 纺织机械仪器仪表产品包装 2009-11-17
- FZ/T 73031-2009 压力袜 2009-11-17
- FZ/T 81010-2009 风衣 2009-11-17