GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范(附条文说明)
GB 50467-2008 Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering
国家标准
中文(简体)
现行
页数:37页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB 50467-2008
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
-
实施日期
2009-07-01
发布单位/组织
-
归口单位
-
适用范围
本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产
设备联动调试及试生产。
微电子生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。
微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工,修改设计应有原设计单位的变更通知。
用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格,并应在检定有效期内使用。
微电子生产设备安装工程的施工及验收除应执行本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定
发布历史
-
1970年01月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位:
- -
- 起草人:
- -
- 出版信息:
- 页数:37页 | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB41/T 2915-2025 地下水监测站现场校测技术规程 2025-08-08
- DB41/T 2914-2025 马拉松赛事组织管理指南 2025-08-08
- DB41/T 2912-2025 在用杂物电梯安全评估指南 2025-08-08
- DB41/T 2909-2025 地理标志产品 武陟大米 2025-08-08
- DB41/T 2911-2025 工业锅炉停炉保养与检查指南 2025-08-08
- DB41/T 2908-2025 地理标志产品 潢川甲鱼 2025-08-08
- DB41/T 2913-2025 叉车驾驶人员操作规范 2025-08-08
- DB41/T 2916-2025 建设占用耕地耕作层再利用操作规程 2025-08-08
- DB41/T 2906-2025 高速公路隧道无线信号覆盖技术规范 2025-08-08
- DB41/T 2910-2025 螺旋板式热交换器运行节能监测 2025-08-08