T/SCASH 0011-2026 半导体碳化硅制品 碳化硅晶舟
T/SCASH 0011-2026 Semiconductor Silicon Carbide Products — Silicon Carbide (SiC) Wafer Boat
团体标准
中文(简体)
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SCASH 0011-2026
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-09-19
实施日期
2026-10-19
发布单位/组织
-
归口单位
上海硅酸盐工业协会
适用范围
本文件适用于制备方法生产的6英寸、8英寸、12英寸带涂层的碳化硅晶舟，其他尺寸碳化硅晶舟也可参照执行本文件。
本文件规定了碳化硅晶舟的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装运输和贮存等
发布历史
-
2026年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 沈阳星光技术陶瓷有限公司、沈阳星光新材料有限公司、浙江六方半导体科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中国科学院金属研究所、宁夏北瓷新材料科技有限公司、中材高新氮化物陶瓷有限公司、天津大学、湖南大学
- 起草人：
- 任云、郝岩、刘长春、孙鹏金、叶小仙、李殿浦、黄海燕、李斌、王再义、唐明强、隋天一、谭瑞轩
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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