T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
T/ZZB 2283-2021 Semiconductor-grade silicon carbide single crystal using ultra-pure graphite powder
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/ZZB 2283-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2021-08-26
实施日期
2021-09-26
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省质量协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5 N(99.999 wt%)以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉
发布历史
-
2021年08月
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研制信息
- 起草单位:
- 本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位:中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位:冶金工业信息标准研究院
- 起草人:
- 本文件主要起草人:杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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