T/ICMTIA ESG0024-2022 集成电路用混合气体 1.2%氦/氮
T/ICMTIA ESG0024-2022 Hybrid gas used for integrated circuits, 1.2% helium/nitrogen
团体标准
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0024-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
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研制信息
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内容描述
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