T/ICMTIA ESG0024-2022 集成电路用混合气体1.2%氦/氮
T/ICMTIA ESG0024-2022 Hybrid gas used for integrated circuits, 1.2% helium/nitrogen
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0024-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了瓶装1.2%氦/氮混合气的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输、储存的要求。本文件适用于集成电路用1.2%氦/氮混合气，其它组分比例的氦/氮混合气可以参考执行
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所、大连科利德化工科技开发有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司
- 起草人：
- 郑秋艳、苏子杰、崔雯、滕莹、陈良、李晓红、施旖旎、李庆东、唐中伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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