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T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫

T/SHXCL 0004-2021 Non-woven fabric/polyurethane composite polishing pad

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/SHXCL 0004-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G23 农药基础标准与通用方法
国际标准分类号（ICS）
59.100.99 其他复合增强材料
发布日期
2021-04-12
实施日期
2021-05-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海市新材料协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光

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研制信息

起草单位：
上海映智研磨材料有限公司
起草人：
张泽芳
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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