T/CIET 604-2024 电子特气提纯设计工艺方法
T/CIET 604-2024 Electronic gas purification design process method
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CIET 604-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-08-14
实施日期
2024-08-14
发布单位/组织
-
归口单位
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。
本文件适用于电子特气提纯设计工艺;
主要技术内容:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。本文件适用于电子特气提纯设计工艺
发布历史
-
2024年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京化工大学、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、杭州贝斯特气体有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司
- 起草人：
- 李群生、李强强、王莉君、赵晓兰、赵洪康、黄英、王乐强、周平、潘佳伟、苏子杰、刘岩、吴永利、汪贤峰、雷晓飞、徐敬铭、包瑾、晨萌
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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