T/CIET 604-2024 电子特气提纯设计工艺方法

团体标准中文(简体) 现行页数：0页 | 格式：PDF

标准号

T/CIET 604-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

71.100.20 工业气体

发布日期

2024-08-14

实施日期

2024-08-14

发布单位/组织

归口单位

中国国际经济技术合作促进会

适用范围

范围:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。本文件适用于电子特气提纯设计工艺; 主要技术内容:本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。本文件适用于电子特气提纯设计工艺

当前资源暂不支持预览

起草单位：: 北京化工大学、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、杭州贝斯特气体有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司

暂无内容

更多>