T/ICMTIA ESG0034-2023 集成电路用混合气体 20%氟/氮
T/ICMTIA ESG0034-2023 Hybrid gas used for integrated circuits with 20% fluorine/nitrogen
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0034-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-03-01
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方法。本文件适用于供应商自我评价、政府部门、行业组织、用户及第三方机构实施评价。其他相关评价活动可参照使用
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 福建德尔科技股份有限公司、大连大特气体有限公司
- 起草人：
- 林百志、曹素英、李婷、李福芬、高天东、依俊廷
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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