T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸
T/CNIA 0062-2020 Highly pure hydrofluoric acid for electronic industry
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CNIA 0062-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-05-27
实施日期
2020-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等
发布历史
-
2020年05月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
- 起草人：
- 杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CIECCPA 008-2023 电动自行车用梯次锂离子蓄电池 技术规范 2023-02-14
- T/CNS 23-2020 高温气冷堆核动力厂工况分类 2020-12-31
- T/HBEACA 001-2023 电动汽车充电站设施与服务星级评定规范 2023-06-16
- T/CES 175-2022 质子交换膜水电解制氢系统性能试验方法 2022-12-19
- T/GDC 77-2020 空气源热泵无水地暖安装验收规范 2020-12-30
- T/CEC 312.1～312.2-2020 燃煤电厂灵活性改造性能试验方法 2020-06-30
- T/HNCAA 049-2023 预拌混凝土单位产品能源消耗限额 2023-10-07
- T/CQTX 0001-2023 蒸汽锅炉水容积测试技术规范 2023-07-13
- T/CNS 22-2020 高温气冷堆核动力厂辐射防护设计准则 2020-12-31
- T/CAMS /CICEIA76-2021 柴油机 喷油嘴偶件 产品质量分等分级规范 2021-09-17