T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸
T/CNIA 0062-2020 Highly pure hydrofluoric acid for electronic industry
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CNIA 0062-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2020-05-27
实施日期
2020-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等
发布历史
-
2020年05月
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研制信息
- 起草单位：
- 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
- 起草人：
- 杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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