T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸

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标准号

T/CNIA 0062-2020

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

D40/49 有色金属矿

国际标准分类号（ICS）

71.060.01 无机化学综合

发布日期

2020-05-27

实施日期

2020-08-01

发布单位/组织

归口单位

中国有色金属工业协会

适用范围

主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等

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起草单位：: 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司

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