GB/T 47506-2026 洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求

ICS1304035

CCSC.70.

中华人民共和国国家标准

GB/T47506—2026

洁净室及相关受控环境

微振动控制技术要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsformicrovibrationcontrol

2026-04-30发布2026-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47506—2026

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

一般要求

4…………………2

控制方法和措施

5…………………………2

材料要求

6…………………3

作业要求

7…………………3

检测和监测

8………………4

附录资料性典型精密设备及仪器容许振动值

A()……………………5

附录资料性电子洁净厂房动力设备和管道振动控制及隔振措施示例

B()…………9

参考文献

……………………10

Ⅰ

GB/T47506—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC319)。

本文件起草单位中国电子工程设计院股份有限公司中国电子系统工程第四建设有限公司中国

:、、

电子系统工程第二建设有限公司武汉华康世纪洁净科技股份有限公司中国工程物理研究院激光聚变

、、

研究中心中国标准化协会亚翔系统集成科技苏州股份有限公司中铁上海设计院集团有限公司中

、、()、、

国电子系统工程第三建设有限公司中建研科技股份有限公司上海市室内环境净化行业协会中国计

、、、

量科学研究院上海朗脉洁净技术股份有限公司湖南省计量检测研究院惠瑞净化科技江苏有限公

、、、()

司信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司北京中科航建环境工程技术有限公司关

、、、

音实业上海有限公司

()。

本文件主要起草人袁晓东吴耀辉郝胤博秦敬伟吕佐超董连东林新智霍金鹏佟昊

:、、、、、、、、、

李锡伟王伟汪洪军黄荷王伟伟白冰王芳范军琳孙炎陈宁张琦龙

、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T47506—2026

引言

洁净室及相关受控环境用于将室内污染控制在适当水平以完成对污染敏感的活动是电子航空

,,、

航天食品医药医疗卫生等行业生产科研必需的环境条件其建造难度大技术复杂能耗高投资

、、、、,、、、

大随着科技的发展洁净室及相关受控环境对污染敏感的种类越来越多微振动作为污染源之一已

。,,,

成为洁净室及相关受控环境质量的重要影响因素

。

洁净室微振动由外部振源和内部振源引起其中外部振源包括交通施工风地脉动潮汐等内部

,、、、、,

振源包括动力设备风机空调机组冷水机组空压机等动力管道液体管道气体管道等吊车物

(、、、)、(、)、、

料传输系统人员生产设备等洁净室微振动会影响洁净室内的生产实验测量等活动降低洁净室

、、。、、,

内精密设备的加工精度精密设备及仪器的测量精度影响精密设备及仪器的稳定性和使用寿命降低

、,,

产品的良率洁净室内微振动控制措施不当时例如材料选择不当刚性基台未按要求开气流孔隔振

。,、、

缝沟密封不严等会影响洁净室的气流流型和洁净度

(),。

本文件针对洁净室及相关受控环境提出了微振动控制的方法措施材料要求作业要求检测和监

、、、、

测要求等内容以保证洁净室运行可靠满足生产科研的工艺和使用要求

,,、。

Ⅳ

GB/T47506—2026

洁净室及相关受控环境

微振动控制技术要求

1范围

本文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施材料作业检测和监测要求

、、、。

本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

微振动microvibration

影响精密设备或仪器正常运行的振动幅值较低的振动

。

32

.

微振动控制microvibrationcontrol

为保证精密设备或仪器正常工作所采取的降低振动影响的方法和措施

。

33

.

容许振动值allowablevalueofvibration

保证精密设备或仪器能正常运行的支承位置处最大振动限值

。

34

.

主动隔振措施activevibrationisolationmeasure

为减小振源对精密设备或仪器产生振动影响而对振源采取的隔振措施

。

35

.

隔振器vibrationisolator

具有隔离和衰减振动功能的支承元件

。

36

.

隔振装置vibrationisolationdevice

由隔振器阻尼器传感器控制器作动器信号处理器隔振台座等元器件形成的隔振组

(3.5)、、、、、、

合体

。

37

.

洁净室结构cleanroomstructure

由洁净室地基基础梁板柱墙支撑围护等构件组成的体系

、、、、、、。

1